公开(公告)号：CN119943710A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202411905124.4

申请日：2024-12-23

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 李士会 ,  刘瑞强 ,  王晓刚 ,  陈辉 ,  李进

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/265 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01J37/02

Abstract: 本发明公开一种真空隔离的低温管路装置，包括冷板、T型管、真空腔体、Y型管和冷源；冷板和T型管设置在真空腔体内；Y型管包括间隙配合的外管和内管，Y型管上设有分界板，以实现外管与内管的间隙分隔为高真空区和低真空区，高真空区与真空腔体连通；外管两端分别连接冷源和真空腔体，内管两端分别连接冷源和T型管，T型管与冷板的输入、输出口连接，冷板内设有循环管路；冷源提供的低温工质经内管和T型管输送至冷板内的循环管路，以实现冷板降温，且换热后的工质再循环至冷源中。本发明具有结构紧凑、稳定性高且拆装便捷等特点，内管与外管之间的低真空可有效隔绝热量传递，在超低温状态下，外管无需包裹任何保温材料，且不会产生冷凝水。

公开(公告)号：CN117894735A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202311758486.0

申请日：2023-12-19

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 刘瑞强 ,  王晓刚 ,  喻晓 ,  赵官源 ,  吴莹莹 ,  王建新 ,  李进 ,  李士会

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种利用电极供电吸附的高温静电吸盘，包括：电极吸附单元以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基板，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基板处于标准大气压环境；所述电极吸附单元包括电极组件和引出组件，所述电极组件烧结在陶瓷基板底部，引出组件的上端与电极组件连接，引出组件的下端贯穿隔热板和水冷基板后与标准大气压环境内的电源连接，以实现对电极组件供电，进而实现高温静电吸盘的静电吸附功能。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、吸附能力强、可靠性高等优点，既解决了高温静电吸盘吸附电极引出触点接触的稳定性问题，又解决了线缆及接头从高真空引入到标准大气压环境的连接问题。

公开(公告)号：CN116417316A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202111656352.9

申请日：2021-12-30

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 李世才 ,  马国宇 ,  蔡杨烁 ,  王金超 ,  王晓刚 ,  张伟星

IPC: H01J37/317

Abstract: 本发明公开了一种离子束流加速管装置，包括加速管入口电极组件，加速管中间组件，加速管出口组件；聚焦硅堆作为连接聚焦电源与加速管中间组件的连接件，能有效防止电流回流，卸放电阻作为连接加速管中间组件与聚焦电源的连接件，能有效防止回路电流过大；加速管支撑焊接件可对加速管进行支撑固定；硅橡胶材质的加速管整体防护罩可有效预防加速管表面的局部放电现象。本发明可用于离子束依次经过加速管的加速电极，具有上下、左右分布的聚焦电极、抑制电极时，提高离子束的传输能量，加深离子掺杂工艺的注入深度，同时通过调节聚焦电源、抑制电源的输出电压可以有效改变束流传输过程中的扩散宽度，提高注入均匀性的可控性。

公开(公告)号：CN117976602A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202410019471.0

申请日：2024-01-05

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 刘瑞强 ,  喻晓 ,  赵官源 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉 ,  王晓刚 ,  王璐 ,  王帅 ,  任含玉

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种高温静电吸盘，包括：加热线圈组件、电极吸附组件、测温组件以及由上至下依次重叠的陶瓷基体、隔热板和水冷基座，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基体处于真空环境，水冷基座处于标准大气压环境；陶瓷基体顶部设有介质层，介质层与承载物接触；电极吸附组件、加热线圈组件和测温组件由上至下依次设置在陶瓷基体内，电极吸附组件与标准大气压环境内的六相电源连接，以实现高温静电吸盘产生吸附力；加热线圈单元与标准大气压环境内的加热控制器连接，以实现高温静电吸盘加热升温；测温组件与标准大气压环境内的温控器连接，以实时监测高温静电吸盘的温度。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、稳定可靠、功能全面等优点。