公开(公告)号：CN118538589A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410470178.6

申请日：2024-04-18

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 张冰 ,  季杰 ,  林双华 ,  李士会 ,  李进 ,  陈辉 ,  王超 ,  金立宝 ,  张建东 ,  毛林杰

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/30

Abstract: 本发明的一种应用于离子注入机的固态元素注入系统及工艺，系统包括：工控机、ADIO控制器、加热电源、离子源弧室和坩埚组件，坩埚组件包括坩埚蒸发器、温度传感器、送气管和加热灯管；工控机、ADIO控制器和加热电源依次连接；加热电源分别连接加热灯管和坩埚蒸发器中的温度传感器，坩埚蒸发器内放置待注入的固态物，坩埚蒸发器通过送气管与离子源弧室连通，加热电源控制加热灯管将坩埚蒸发器内的固态物加热形成气体，气体通过送气管进入离子源弧室；温度传感器采集的实时温度信息反馈至控制器，控制器将实时温度与预设温度对比，调整加热电源输出加热功率。本发明具有结构紧凑、使用便捷、温控精度高且有利于提高离子源工作稳定性等优点。