公开(公告)号：CN119208190A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411168058.7

申请日：2024-08-23

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 陈辉 ,  刘瑞强 ,  陆盼婷 ,  李士会 ,  李进 ,  安超 ,  鲁晓乐 ,  王郑标

IPC: H01L21/67 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明公开了一种离子注入机的晶圆制冷系统，将冷环和用于承载第一晶圆的工艺靶盘设置在工艺腔室内，且工艺靶盘设置在冷环顶部，冷环底部通过冷媒穿管与分配器连接；将预冷环和用于承载第二晶圆的预冷靶盘设置在机械手腔室内，且预冷环设置在预冷靶盘底部，预冷环底部通过管路与分配连接，分配器通过管道与冷源连接，冷源提供的低温氮气输送至分配器中进行二次分配后，再分别输送至冷环和预冷环中，以实现工艺靶盘上的第一晶圆和预冷靶盘上的第二晶圆降温至预设温度；低温氮气在冷环和预冷环中进行换热后，再返回至分配器中，最终回到冷源内进行循环利用。本发明具有结构紧凑、操作便捷、制冷效率高等特点，提高了低温注入的整体工作效率。