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发明公开
一种用于离子注入机的电偏转透镜调控方法及系统审中-实审

公开(公告)号：CN118197888A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410146930.1

申请日：2024-02-01

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 陆鹏宇 , 王振辉 , 王肇龙 , 李进 , 李士会 , 陈辉

IPC: H01J37/317 , H01J37/304 , H01J37/147

Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的电偏转透镜调控方法及系统，方法包括步骤：分析确定离子注入机的电偏转透镜的控制参数；获取不同数值控制参数下的各电极电压，并将各电极电压与预设阈值进行对比；如果各电极电压均位于预设阈值内，则判断各控制参数的数值合格，再根据各控制参数数值来设置各个电源电压；如果各电极电压不在预设阈值内，则调整各控制参数的数值直至各电极电压均位于预设阈值内，再根据调整后的控制参数数值来设置各个电源电压。本发明将各电极电压设置到尽可能低的情况下完成对束流的偏转，减少打火发生可能性。

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