半导体器件
    4.
    发明公开
    半导体器件 审中-公开

    公开(公告)号:CN120035165A

    公开(公告)日:2025-05-23

    申请号:CN202410780055.2

    申请日:2024-06-17

    Abstract: 本公开涉及半导体器件。一种示例半导体器件包括:沟道层;阻挡层,所述阻挡层位于所述沟道层上并且包括与所述沟道层中包括的材料比具有不同的能带隙的材料;栅电极,所述栅电极位于所述阻挡层上;栅极半导体层,所述栅极半导体层位于所述阻挡层与所述栅电极之间;保护层,所述保护层位于所述阻挡层和所述栅电极上;源电极和漏电极,所述源电极和所述漏电极位于所述栅电极的两侧并且延伸穿过所述保护层,以覆盖所述沟道层和所述阻挡层的侧表面;以及扩散阻挡层,所述扩散阻挡层位于所述保护层内,覆盖所述阻挡层和所述栅电极并且包括氮。

    高电子迁移率晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN102916044A

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201210256482.8

    申请日:2012-07-23

    CPC classification number: H01L29/66462 H01L29/1066 H01L29/2003 H01L29/7787

    Abstract: 本发明提供一种高电子迁移率晶体管及其制造方法。HEMT包括:基板;以及形成在基板上的HEMT层叠,其中所述HEMT层叠包括:包括2维电子气(2DEG)的化合物半导体层;上化合物半导体层,具有比所述化合物半导体层的极化指数高的极化指数;以及设置在所述上化合物半导体层上的源电极、漏电极和栅极,其中所述基板是具有比硅基板的介电常数和导热系数高的介电常数和导热系数的氮化物基板。所述基板可以包括具有比硅基板的介电常数和导热系数高的介电常数和导热系数的绝缘层、设置在所述绝缘层上的金属层、以及附接到所述金属层的板。

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