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公开(公告)号：US09720324B2
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：US15210025
申请日：2016-07-14
发明人： Jun Hatakeyama , Koji Hasegawa
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/30 , C08F18/20 , C08F220/28 , C08F220/60 , C08F224/00 , C08F226/02 , C08F228/02 , C08F228/06 , G03F7/039 , C08F222/40 , C08F222/20 , C08F216/14 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/32
CPC分类号： G03F7/0392 , C08F18/20 , C08F216/1416 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F220/60 , C08F222/20 , C08F222/40 , C08F224/00 , C08F226/02 , C08F226/06 , C08F228/02 , C08F228/06 , C08F2222/404 , C08F2222/408 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/085 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2041 , G03F7/2053 , G03F7/30 , G03F7/325 , C08F2220/283 , C08F2220/1891 , C08F2220/1866 , C08F220/20 , C08F2220/1841 , C08F220/24 , C09D133/10 , C08L33/16 , C09D139/04 , C09D143/02
摘要： A resist composition is provided comprising a polymer comprising recurring units (a) having an oxazolidinedione, thioxooxazolidinone, thiazolidinedione or thioxothiazolidinone structure and recurring unit (b1) having an acid labile group-substituted carboxyl group and/or recurring units (b2) having an acid labile group-substituted phenolic hydroxyl group. The resist composition suppresses acid diffusion, exhibits a high resolution, and forms a pattern of satisfactory profile with low edge roughness.
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公开(公告)号：US3549698A
公开(公告)日：1970-12-22
申请号：US3549698D
申请日：1968-12-13
发明人： COON RALPH I
IPC分类号： C07C51/00 , C07C59/115 , C07C59/21 , C08F18/20 , C07C59/10
CPC分类号： C07C59/21 , C07C51/00 , C07C59/115 , C08F18/20 , Y10S516/06
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公开(公告)号：US3297658A
公开(公告)日：1967-01-10
申请号：US46713965
申请日：1965-06-25
申请人： DOW CHEMICAL CO
发明人： LIENG-HUANG LEE
CPC分类号： C08F18/20
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公开(公告)号：US2524513A
公开(公告)日：1950-10-03
申请号：US6550448
申请日：1948-12-15
申请人： GEN ELECTRIC
发明人： CASS WILLIAM E
IPC分类号： C08F18/20
CPC分类号： C08F18/20
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公开(公告)号：US2515132A
公开(公告)日：1950-07-11
申请号：US53392444
申请日：1944-05-03
申请人： WINGFOOT CORP
发明人： MILONE CHARLES R
IPC分类号： C08F18/08 , C08F18/20 , C08F214/06 , C08F214/08
CPC分类号： C08F214/08 , C08F18/08 , C08F18/20 , C08F214/06
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公开(公告)号：US2465316A
公开(公告)日：1949-03-22
申请号：US1758148
申请日：1948-03-27
申请人： MONSANTO CHEMICALS
发明人： MOWRY DAVID T , HAM GEORGE E
IPC分类号： C08F18/20
CPC分类号： C08F18/20
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公开(公告)号：US2402484A
公开(公告)日：1946-06-18
申请号：US49095243
申请日：1943-06-14
申请人： SHELL DEV
发明人： ADELSON DAVID E , RUH ROBERT P , GRAY JR HAROLD F
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公开(公告)号：US2402483A
公开(公告)日：1946-06-18
申请号：US49095143
申请日：1943-06-14
申请人： SHELL DEV
发明人： ADELSON DAVID E , RUH ROBERT P , GRAY JR HAROLD F
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公开(公告)号：US2402481A
公开(公告)日：1946-06-18
申请号：US49094943
申请日：1943-06-14
申请人： SHELL DEV
发明人： ADELSON DAVID E , RUH ROBERT P , GRAY JR HAROLD F
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公开(公告)号：US2384123A
公开(公告)日：1945-09-04
申请号：US43382942
申请日：1942-03-07
发明人： MUSKAT IRVING E , FRANKLIN STRAIN
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