公开(公告)号：US20100014292A1

公开(公告)日：2010-01-21

申请号：US12502316

申请日：2009-07-14

申请人： Harald Dellian

发明人： Harald Dellian

IPC分类号： F21V7/16 ,  G02B7/185

CPC分类号： F21V14/04 ,  F21V1/06 ,  F21V3/023 ,  G02B19/0019 ,  G02B19/0061 ,  G02B19/0066 ,  G02B26/0825 ,  G09F13/14

摘要： In various embodiments, an optical element may include at least one elastically deformable support, on which at least one reflective layer is applied; and in addition at least one deformation apparatus for elastically deforming the at least one support.

摘要翻译： 在各种实施例中，光学元件可以包括至少一个可弹性变形的支撑件，其上施加至少一个反射层; 以及至少一个用于使所述至少一个支撑件弹性变形的变形装置。

公开(公告)号：US20080151399A1

公开(公告)日：2008-06-26

申请号：US11963326

申请日：2007-12-21

申请人： Gerhard Hammann

发明人： Gerhard Hammann

IPC分类号： G02B7/185

CPC分类号： G02B26/0825 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0665

摘要： A mirror assembly for an optical system of a laser processing machine includes a mount with a cavity, and an adaptive mirror. A magnetorheological or electrorheological fluid flows through the cavity, is adjusted in its viscosity, and provides an adjustable pressure onto the adaptable mirror.

摘要翻译： 用于激光加工机的光学系统的镜组件包括具有空腔的安装件和自适应反射镜。 磁流变或电流变流体流过空腔，调节其粘度，并在可适应的镜子上提供可调节的压力。

公开(公告)号：US20080049212A1

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：US11844475

申请日：2007-08-24

申请人： Ralf Lenke

发明人： Ralf Lenke

IPC分类号： G02B7/185

CPC分类号： G02B7/008 ,  G02B7/183

摘要： An apparatus is provided for gravitation-compensated mounting of a measurement object (2) having a plurality of supporting elements (1) which each act at at least one point on the measurement object (2), with the supporting elements (1) being designed such that they exert a constant force when small changes occur in the position of the measurement object (2). The supporting elements (1) are provided with floating bodies (3) arranged in a carrier liquid (7).

摘要翻译： 提供了一种用于重力补偿安装具有多个支撑元件（1）的测量对象（2）的装置，每个支撑元件（1）在测量对象（2）上的至少一个点上起作用，其中支撑元件（1）被设计 使得当在测量对象（2）的位置发生小的变化时，它们施加恒定的力。 支撑元件（1）设置有布置在载液（7）中的浮体（3）。

公开(公告)号：US20080037146A1

公开(公告)日：2008-02-14

申请号：US11663088

申请日：2005-09-13

申请人： Michael Griffith ,  Leslie Laycock

发明人： Michael Griffith ,  Leslie Laycock

IPC分类号： G02B7/185

CPC分类号： G02B7/181 ,  G02B7/1815 ,  G02B26/06 ,  G02B26/0825 ,  H01S3/0401 ,  H01S3/08059

摘要： This invention relates to improvements in thermal management in deformable mirrors. In particular, this invention relates to a deformable mirror comprising a heat spreader used to distribute thermal energy evenly across the mirror. Diamond material 104, on account of its extremely high thermal conductivity, is a preferred choice of heat spreader which permits build up of thermal energy in the mirror 100 to be quickly and evenly distributed across the entire mirror surface, increasing the working life of the mirror.

摘要翻译： 本发明涉及可变形反射镜中热管理的改进。 特别地，本发明涉及一种可变形反射镜，其包括用于将热能均匀地分布在反射镜上的散热器。 金刚石材料104由于其极高的导热性，是散热器的优选选择，其允许在反射镜100中积聚热能以快速均匀地分布在整个镜面上，从而增加了反射镜的使用寿命 。

公开(公告)号：US07195361B2

公开(公告)日：2007-03-27

申请号：US11039132

申请日：2005-01-19

申请人： Mark A. Ealey

发明人： Mark A. Ealey

IPC分类号： G02B5/08 ,  G02B7/183 ,  G02B7/185 ,  G01J1/20

CPC分类号： G02B26/06 ,  G02B7/005

摘要： An active hybrid optical component includes a substrate including a mounting surface; a replicated optical surface mounted on the mounting surface; and a plurality of actuators for deforming the substrate to impose a predetermined finished optical shape to the replicated optical surface.

摘要翻译： 有源混合光学部件包括：基板，包括安装表面; 安装在安装表面上的复制光学表面; 以及用于使基板变形以将预定的成品光学形状施加到复制的光学表面的多个致动器。

公开(公告)号：US07188964B2

公开(公告)日：2007-03-13

申请号：US10730412

申请日：2003-12-08

申请人： Mark A. Ealey

发明人： Mark A. Ealey

IPC分类号： G02B5/08 ,  G02B7/183 ,  G02B7/185

CPC分类号： G02B7/183 ,  G02B5/08 ,  G02B26/0825

摘要： An integrated actuator meniscus mirror includes an optical substrate having a mirror surface on one side and a support structure on the other and a plurality of actuators embedded in the support structure, spaced from and generally parallel to the mirror surface for applying bending moments to the mirror surface for controllably altering the shape of the mirror surface.

摘要翻译： 集成致动器弯液面镜包括具有在一侧上的镜表面和另一侧上的支撑结构的光学基底，以及嵌入在支撑结构中的多个致动器，与镜面间隔开并且大体上平行于镜面，用于向镜施加弯曲力矩 表面，用于可控地改变镜面的形状。

公开(公告)号：US06886951B2

公开(公告)日：2005-05-03

申请号：US10656775

申请日：2003-09-04

申请人： Harold Earl Bennett ,  Jack D. Westfall ,  Robert A. Taylor ,  Joseph Jasperson Shaffer ,  Earl La Fayette McFadden

发明人： Harold Earl Bennett ,  Jack D. Westfall ,  Robert A. Taylor ,  Joseph Jasperson Shaffer ,  Earl La Fayette McFadden

IPC分类号： G02B26/06 ,  G02B26/08 ,  G02B7/185 ,  G02B7/188 ,  H01L41/053

CPC分类号： G02B26/06 ,  G02B26/0825

摘要： A method and tool to smooth surface contours uses a fixed back plate mounted at a known distance to an actuator holding plate. Each of the actuators is mounted in said actuation holding plate by a support collar threaded into said actuator holding plate. Threaded with said support collar is an actuator holder with rigidly holds an actuator. A differential threaded adjustment device is then inserted through said fixed back plate and connected to say support collar and actuator holder so that each can be moved independently of the other. The actuator is made of two piezoelectric plates connected in parallel and separated by a silicon rubber o-ring.

摘要翻译： 用于平滑表面轮廓的方法和工具使用安装在致动器固定板的已知距离处的固定背板。 每个致动器通过螺纹连接到所述致动器保持板中的支撑轴环安装在所述致动保持板中。 带有所述支撑环的螺纹是具有刚性地保持致动器的致动器保持器。 然后将差速螺纹调节装置插入通过所述固定的背板并且连接到所述支撑轴环和致动器保持器，使得每个可以独立于彼此移动。 致动器由并联连接并由硅橡胶O形环分开的两个压电板制成。

公开(公告)号：US20230003995A1

公开(公告)日：2023-01-05

申请号：US17781998

申请日：2020-11-30

申请人： ALPAO

发明人： Julien Gérard Ernest CHARTON ,  Vincent Olivier HARDY

IPC分类号： G02B26/06 ,  G02B7/185 ,  G02B5/10

摘要： The invention relates to an adaptive optical system (1) comprising: an adaptive optical device (2) comprising an optical processing surface (3) and a driving device (5) for controllably modifying the optical behaviour of said optical processing surface (3), an optical analyser (6) intended to be subjected to an input light beam (7) in order to produce, in response, output signals (8, 9, 10), a control device (11) connected to the optical analyser (6) and to the driving device (5) in order to command the latter depending on said output signals (8, 9, 10), characterised in that said optical analyser (6) is designed to spatially demultiplex, via multi-plane light conversion, the input light beams (7) into a plurality of elementary output light beams (80, 90, 100). Adaptive optical systems.

公开(公告)号：US09568837B2

公开(公告)日：2017-02-14

申请号：US14818507

申请日：2015-08-05

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： Sascha Bleidistel ,  Ulrich Schoenhoff ,  Juergen Fischer

IPC分类号： G02B5/08 ,  G02B7/182 ,  G03B27/32 ,  G03B27/54 ,  G03F7/20 ,  G02B26/08 ,  G02B7/00 ,  G02B7/185

CPC分类号： G03F7/70191 ,  G02B5/0891 ,  G02B7/005 ,  G02B7/181 ,  G02B7/185 ,  G02B26/0825 ,  G02B27/0068 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70266 ,  G03F7/70308 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/709

摘要： The invention relates to arrangements for actuating an element in a microlithographic projection exposure apparatus. In accordance with one aspect, an arrangement for actuating an element in a microlithographic projection exposure apparatus comprises a first number (nR) of degrees of freedom, wherein an adjustable force can be transmitted to the optical element in each of the degrees of freedom, and a second number (nA) of actuators, which are coupled to the optical element in each case via a mechanical coupling for the purpose of transmitting force to the optical element, wherein the second number (nA) is greater than the first number (nR). In accordance with one aspect, at least one of the actuators is arranged in a node of at least one natural vibration mode of the optical element.

摘要翻译： 本发明涉及在微光刻投影曝光装置中致动元件的装置。 根据一个方面，用于在微光刻投影曝光装置中致动元件的装置包括第一数量（nR）的自由度，其中在每个自由度中可调节的力可以传递到光学元件，以及 致动器的第二数量（nA），其在每种情况下通过机械耦合耦合到光学元件，用于向光学元件传递力，其中第二数量（nA）大于第一数量（nR） 。 根据一个方面，致动器中的至少一个被布置在光学元件的至少一个固有振动模式的节点中。

公开(公告)号：US09314980B2

公开(公告)日：2016-04-19

申请号：US13847363

申请日：2013-03-19

申请人： GOODRICH CORPORATION

发明人： Bari M. Southard

IPC分类号： G02B5/08 ,  G02B7/182 ,  B29D11/00 ,  G02B7/185 ,  G02B26/06 ,  G02B26/08 ,  G02B7/183

CPC分类号： B29D11/00596 ,  G02B7/182 ,  G02B7/183 ,  G02B7/185 ,  G02B26/06 ,  G02B26/0825

摘要： A telescope, mirror assembly and method of forming an aspheric mirror is disclosed. The telescope includes the mirror assembly which has a substantially spherical surface contour in a relaxed state. A plurality of actuators distributed substantially along an outer edge of the mirror is configured to apply a load to the mirror assembly to deform the mirror to obtain a substantially aspheric surface contour.

摘要翻译： 公开了一种形成非球面镜的望远镜，镜组件和方法。 望远镜包括在松弛状态下具有基本上球形的表面轮廓的反射镜组件。 基本上沿着反射镜的外边缘分布的多个致动器构造成向镜组件施加负载以使反射镜变形以获得基本上非球面的表面轮廓。