公开(公告)号：CN114599936B

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202080074706.6

申请日：2020-10-28

申请人： 株式会社电装

发明人： 后藤胜昭 ,  原田翔太 ,  胜间田卓 ,  畑良幸 ,  明石照久

IPC分类号： G01C19/5755 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

摘要： 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b)，并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且，控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动，获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs)，使第一谐振频率(fd)维持在一定的值，并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。

公开(公告)号：CN110637208B

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN201880012425.0

申请日：2018-02-20

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： J·鲁欧西欧 ,  L·科罗纳托 ,  G·加弗埃力

IPC分类号： G01C19/574

摘要： MEMS传感器包括基板和MEMS层。MEMS层内的多个锚定点悬挂着悬挂的弹簧‑质块系统，该弹簧‑质块系统包括响应于诸如线性加速度、角速度、压力或磁场之类的感兴趣的力的活动微机械部件。弹簧和刚性质块将活动部件耦合到锚定点，使得锚定点的位移基本上不会导致MEMS层内的活动部件移出平面外。

公开(公告)号：CN114076593A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202010836293.2

申请日：2020-08-19

申请人： 塔莱斯公司

发明人： N·韦尔西尔 ,  N·马丁 ,  J·科坦蒂克 ,  B·肖梅

IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/574

摘要： 一种用于确定针对由惯性角度传感器(10)的谐振器(Res)生成的振动波的象限命令(CTq)和频率命令(CTf)的方法(100)，所述方法包括步骤：‑A确定所述电学角度(θ)；‑B分别根据第一(TrimQ)控制操作并且根据第二(TrimF)控制操作估计所述象限刚性和均衡刚性的第一值(Kq’，ΔK’)，所述第一值在所述波参考系X’Y’中被估计，‑C根据在步骤B中估计的所述刚性的第一值(Kq’，ΔK’)确定所述象限刚性和均衡刚性在所述传感器参考系XY中的第二值(Kq，ΔK)，‑D确定分别与在步骤C中确定的所述第二值(Kq，ΔK)相对应的所述象限命令(CTq)和所述频率命令(CTf)，‑E施加在步骤D中确定的所述频率命令(CTf)和所述象限命令(CTq)。

公开(公告)号：CN110260851B

公开(公告)日：2021-07-02

申请号：CN201910413644.6

申请日：2019-05-17

申请人： 北京航空航天大学

发明人： 周震 ,  王奕弈 ,  赵玉娇

IPC分类号： G01C19/574

摘要： 本发明公开了一种基于双亚波长光栅腔检测的光力学微机械陀螺，利用亚波长光栅构建高品质因数光学谐振腔，利用双亚波长光栅腔实现推挽工作方式，通过双亚波长光栅腔谐振频率的差分检测实现角速度解算，可有效提高微机械陀螺的检测灵敏度；利用光信号对微机械陀螺进行检测，相比于电学检测方法，具有精度高、稳定性好、抗电磁干扰能力强、寄生电容小、线性良好、系统体积小、集成度高等优点，并且，亚波长光栅的光栅周期小于入射光波长，将高品质因数亚波长光栅腔用于微机械陀螺检测，相比于现有光学检测方法，检测精度和检测灵敏度更高；质量块的驱动模态与检测模态均采用共面振动方式，可避免微机械陀螺工作时压膜阻尼过大而影响机械灵敏度。

公开(公告)号：CN111512118A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201880084368.7

申请日：2018-10-24

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： M·汤普森

IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/574 ,  G01P15/125

摘要： 一种微机电(MEMS)传感器包括位于MEMS层内并且相对于一个或多个电极定位的MEMS部件。多个检测质块位于MEMS层内并且在MEMS层内不彼此电耦合。第一检测质块和第二检测质块均相对于所述一个或多个电极中的至少一个公共电极而移动，使得可以感测每个检测质块相对于电极的相对位置。可以基于感测到的相对位置来确定感测到的参数。

公开(公告)号：CN106415204B

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201580031212.9

申请日：2015-06-02

申请人： 株式会社电装

发明人： 城森知也 ,  酒井峰一

IPC分类号： G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  H01L41/113

摘要： 振动型角速度传感器，在将固定部(20)与可动部(30)以及梁部(40)进行连结的部分具备防振弹簧构造(25)。通过这样的构造，例如在由外部冲击等引起的共振频率比驱动振动、检测振动的共振频率(驱动频率、检测频率)小的无用振动模式时，与梁部相比主要防振弹簧构造进行变形，能够抑制梁部的变形。而且，当在为框体构造的可动部以及梁部的中心支撑部配置防振弹簧构造时，与将检测梁直接固定于固定部的情况相比，通过防振弹簧构造位移使检测梁与防振弹簧构造的连结场所的位移变大。因此，能够在角速度施加时通过振动检测部基于检测梁的更大的变形进行角速度检测，能够进一步提高检测精度。

公开(公告)号：CN102348956B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201080011117.X

申请日：2010-03-11

申请人： 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司

发明人： B·施密德 ,  R·希瓦拉曼 ,  S·根特纳

IPC分类号： G01C19/574

CPC分类号： G01C19/574

摘要： 本发明涉及一种包括至少一个衬底的微机械旋转速率传感器，其中所述旋转速率传感器包括至少一个第一和一个第二震动块，所述第一和第二震动块借助至少一个耦合梁彼此耦合，并且其中所述旋转速率传感器被设计为使得所述旋转速率传感器能够检测围绕至少一个第一和一个第二敏感轴的旋转速率，其中每个震动块关联有至少一个致动单元，可以使用所述至少一个致动单元影响所述震动块的偏转特性。

公开(公告)号：CN113678000B

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202080023974.5

申请日：2020-02-19

申请人： 松下知识产权经营株式会社

发明人： 青柳孝典 ,  相泽宏幸 ,  董春祉 ,  岸本慎一

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  G01C19/574

摘要： 本发明提供一种能够降低传感器特性的变化的物理量传感器。物理量传感器(1)包括基板(2)、锚定部分(3)、包围部分(4)、检测元件、移动部分(6)和梁部分(7)。锚定部分(3)形成在基板(2)的与主表面(21)相同的一侧上并固定到基板(2)。包围部分(4)形成在基板(2)的与主表面(21)相同的一侧上并包围锚定部分(3)。检测元件检测作为检测对象的物理量。移动部分(6)设置有检测元件的至少一部分，形成在基板(2)的与主表面(21)相同的一侧上，并且连接到包围部分(4)。梁部分(7)形成在基板(2)的与主表面(21)相同的一侧上，将锚定部分(3)和包围部分(4)连接在一起。

公开(公告)号：CN110998232B

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN201880051117.9

申请日：2018-07-30

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  N·博德 ,  B·库尔曼 ,  N·F·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡

IPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/5747

摘要： 向(103)布置的Y方向(102)反相地偏移，其中，所本发明要求保护一种转速传感器(1)，具有 述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第一带着主延伸平面的衬底和第一质量振动器(2)和 旋转轴线旋转时受到沿Z方向(103)的第一力，其第二质量振动器(3)，其中，所述第一和第二质量 中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所振动器(2、3)与所述衬底能振动地连接，并且此 述第二旋转轴线旋转时受到沿X方向(101)的第外，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振 二力。动器(3)能振动地相互连接，其中，所述第一质量振动器(2)包括第一电极组件(7)，其中，所述第二质量振动器(3)包括第二电极组件(8)，其中，所述衬底包括第三电极组件(9)，其中，所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第一旋转轴线的第一转速和/或所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第二旋转轴线的第二转速，其中，所述第一旋转轴线沿着基本上平行于所述主延伸平面布置的X方向(101)延伸，其中，所述第二旋转轴线沿着基本上垂直于所述主延伸平面布置的Z方向(103)延伸，其中，所述第一质量振动器(2)

公开(公告)号：CN108534769B

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN201810105444.X

申请日：2013-09-27

申请人： 意法半导体股份有限公司

发明人： C·科米 ,  A·科里利亚诺 ,  L·巴尔达萨雷

IPC分类号： G01C19/574 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125

摘要： 本公开的实施例涉及加速度和角速度谐振检测集成结构及相关MEMS传感器设备。一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。