公开(公告)号：CN110998234A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201880051392.0

申请日：2018-07-30

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  J-T·利韦德 ,  N·博德 ,  M·屈内尔 ,  B·库尔曼 ,  O-A·普吕茨 ,  N·F·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡

IPC: G01C19/5783 ,  G01C19/5733

Abstract: 本发明要求保护一种转速传感器，该转速传感器具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面(110、120)，其中，所述转速传感器具有能置于振动中的至少一个第一质量元件和第二质量元件(10、20)，其中，所述衬底的第一主延伸方向(110)从所述第一质量元件(10)指向所述第二质量元件(20)，其中，沿第一主延伸方向(110)在所述第一质量元件和第二质量元件(10、20)之间布置有耦合结构(30)，其特征在于，所述耦合结构(30)的第一耦合区域(31)布置在第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第一质量区域(11)布置在所述第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第二质量区域(12)布置在第二功能层(2)中，其中，所述第一功能层(1)沿垂直于所述主延伸平面(110、120)的延伸方向(200)布置在所述衬底和所述第二功能层(2)之间，其中，第二主延伸方向(120)垂直于所述第一主延伸方向(110)，其中，所述第一耦合区域(31)沿所述第一主延伸方向(110)具有大于沿所述第二主延伸方向(120)的延展尺度。

公开(公告)号：CN107923751B

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN201680050404.9

申请日：2016-06-27

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  M·哈塔斯 ,  C·赫普纳 ,  B·施密特 ,  T·巴尔斯林科

IPC: G01C19/574

Abstract: 提出转速传感器，具有衬底、第一转速传感器结构、第二转速传感器结构，衬底具有主延伸平面，第一转速传感器结构用于探测第一转速、第二转速传感器结构用于探测第二转速，第一轴线平行于主延伸平面延伸，第二轴线垂直于主延伸平面延伸，其中，转速传感器包括驱动装置，既用于偏转第一转速传感器结构的至少一个第一结构，以及第一转速传感器结构的至少一个第二结构，而且驱动装置也用于偏转第二转速传感器结构的至少一个第三结构，以及第二转速传感器结构的至少一个第四结构，使得第一结构、第二结构、第三结构以及第四结构能够被激励到机械耦合的振动。

公开(公告)号：CN106468551B

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN201610808185.8

申请日：2016-07-15

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·赖因穆特 ,  A·拉斯尔 ,  O-A·普吕茨

IPC: G01C19/5747 ,  B81B5/00

Abstract: 本发明涉及转速传感器，其具有：具有主延伸平面的基体；相对于基体可运动的第一结构；相对于基体和相对于第一结构可运动的第二结构，其中，第一结构包括至少一个第一驱动装置，其中，第二结构包括至少一个第二驱动装置，其中，为了通过第一驱动装置和第二驱动装置之间的交互作用使不仅第一结构从第一结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中而且第二结构从第二结构的基本上与驱动方向平行的静止位置中共同偏转出来，第一驱动装置和第二驱动装置这样布置，使得第一结构和第二结构能够激励基本上反相的、分别具有基本上与驱动方向平行的运动分量的振动。

公开(公告)号：CN107850432A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680041375.X

申请日：2016-05-24

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  T·巴尔斯林科

IPC: G01C19/5733

CPC classification number: G01C19/5733

Abstract: 提出一种转速传感器，其具有带有主延伸平面的衬底和相对于衬底可运动的结构，其中，所述转速传感器如此包括用于使所述结构从静止位置中与平行于所述主延伸平面走向的第一轴线基本上平行地偏移的第一激励单元，使得所述结构可以被激励以基本上沿着平行于所述第一轴线的方向的运动分量在第一频率振动，其中，所述转速传感器如此包括用于使所述结构从静止位置中与平行于所述主延伸平面走向并且垂直于所述第一轴线走向的第二轴线基本上平行地偏移的第二激励单元，使得所述结构可以被激励以基本上沿着平行于所述第二轴线的方向的运动分量在第二频率振动。

公开(公告)号：CN115135960B

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202180015611.1

申请日：2021-01-29

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  N·F·库尔曼 ,  M·屈内尔 ,  O-A·普吕茨 ,  J-T·利韦德 ,  N·博德

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5712

Abstract: 本发明实现一种微机械转速传感器组件、一种转速传感器阵列和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括：能够通过驱动装置(AT1、AT2)经由驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)围绕第一轴(z)旋转振荡地驱动的第一转速传感器装置(100)，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一、第二和第三轴(z、y、x)相对彼此垂直地布置；和能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)经由所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)沿着所述第二轴(y)线性振荡地驱动的第二转速传感器装置(200)，用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。所述第一转速传感器装置(100)通过所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)与所述第二转速传感器装置(200)连接。所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)具有第一驱动框架(RA1a、RA1b)和第二驱动框架(RA2a、RA2b)，所述第一驱动框架和所述第二驱动框架能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)沿着所述第三轴(x)反相振荡地驱动。摆杆使第一和第二转子装置和第一和第二驱动框架连接。

公开(公告)号：CN111316062B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN201880071749.1

申请日：2018-10-25

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  N·F·库尔曼 ,  J-T·利韦德 ,  N·博德 ,  M·屈内尔

IPC: G01C19/5712

Abstract: 本发明请求保护一种转速传感器(1)，该转速传感器带着具有主延伸平面(100、200)的衬底，其中，所述转速传感器(1)包括旋转元件组件(10、20)，其中，所述旋转元件组件(10、20)构造成用于探测沿所述衬底的第一主延伸轴线(100)起作用的转速和沿所述衬底的垂直于所述第一主延伸轴线(100)的第二主延伸轴线(200)起作用的转速，其特征在于，所述转速传感器(1)具有传感器组件(40)，其中，所述传感器组件(40)构造成用于探测所述衬底的垂直于所述主延伸平面(100、200)起作用的转速，其中，所述传感器组件(40)和所述旋转元件组件(10、20)能够借助于驱动组件(30)被驱动，其中，所述驱动组件(30)构造成用于沿着所述第一主延伸轴线(100)驱动运动。

公开(公告)号：CN111183112A

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201880062686.3

申请日：2018-09-20

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  N·F·库尔曼 ,  F·沙茨 ,  N·博德 ,  M·屈内尔

IPC: B81B3/00 ,  G01C19/5733

Abstract: 本发明涉及一种MEMS设备以及一种相应的运行方法。所述MEMS设备配备有能振动的微机械系统(100)，该能振动的微机械系统能够以多个使用模式激励，其中，所述能振动的微机械系统(100)具有至少一个系统部件(1)，该系统部件由于所述使用模式的叠加能够以至少一个寄生干扰模式激励。设置有补偿装置(50)，所述补偿装置构型成，使得所述补偿装置通过将电磁相互作用(W)施加到所述系统部件(1)上来抵抗所述寄生干扰模式。

公开(公告)号：CN109490568A

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201811064369.3

申请日：2018-09-12

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： N·博德 ,  A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  J-T·利瓦尔德 ,  M·屈内尔 ,  N·F·库尔曼 ,  O-A·普吕茨 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  R·努尔

IPC: G01P3/44 ,  G01C19/5712

CPC classification number: G01C19/5762 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5747 ,  G01P3/44

Abstract: 本发明实现一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够通过所述驱动装置经由所述驱动框架装置围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴相对彼此垂直地布置；和能够通过驱动装置经由驱动框架装置沿着第二轴(y)线性振荡地被驱动的第二转速传感器装置，用于感测围绕第一轴(z)的第三外部转速。第一转速传感器装置通过驱动框架装置与第二转速传感器装置连接。驱动框架装置具有第一驱动框架和第二驱动框架，这些驱动框架能够通过驱动装置沿着第三轴(x)反相振荡地被驱动。

公开(公告)号：CN110998232B

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN201880051117.9

申请日：2018-07-30

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  N·博德 ,  B·库尔曼 ,  N·F·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡

IPC: G01C19/574 ,  G01C19/5747

Abstract: 向(103)布置的Y方向(102)反相地偏移，其中，所本发明要求保护一种转速传感器(1)，具有 述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第一带着主延伸平面的衬底和第一质量振动器(2)和 旋转轴线旋转时受到沿Z方向(103)的第一力，其第二质量振动器(3)，其中，所述第一和第二质量 中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所振动器(2、3)与所述衬底能振动地连接，并且此 述第二旋转轴线旋转时受到沿X方向(101)的第外，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振 二力。动器(3)能振动地相互连接，其中，所述第一质量振动器(2)包括第一电极组件(7)，其中，所述第二质量振动器(3)包括第二电极组件(8)，其中，所述衬底包括第三电极组件(9)，其中，所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第一旋转轴线的第一转速和/或所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第二旋转轴线的第二转速，其中，所述第一旋转轴线沿着基本上平行于所述主延伸平面布置的X方向(101)延伸，其中，所述第二旋转轴线沿着基本上垂直于所述主延伸平面布置的Z方向(103)延伸，其中，所述第一质量振动器(2)

公开(公告)号：CN115135960A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202180015611.1

申请日：2021-01-29

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  B·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡 ,  N·F·库尔曼 ,  M·屈内尔 ,  O-A·普吕茨 ,  J-T·利韦德 ,  N·博德

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5712

Abstract: 本发明实现一种微机械转速传感器组件、一种转速传感器阵列和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括：能够通过驱动装置(AT1、AT2)经由驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)围绕第一轴(z)旋转振荡地驱动的第一转速传感器装置(100)，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一、第二和第三轴(z、y、x)相对彼此垂直地布置；和能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)经由所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)沿着所述第二轴(y)线性振荡地驱动的第二转速传感器装置(200)，用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。所述第一转速传感器装置(100)通过所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)与所述第二转速传感器装置(200)连接。所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)具有第一驱动框架(RA1a、RA1b)和第二驱动框架(RA2a、RA2b)，所述第一驱动框架和所述第二驱动框架能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)沿着所述第三轴(x)反相振荡地驱动。摆杆使第一和第二转子装置和第一和第二驱动框架连接。