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公开(公告)号：CN108534769B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN201810105444.X
申请日：2013-09-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/125
Abstract: 本公开的实施例涉及加速度和角速度谐振检测集成结构及相关MEMS传感器设备。一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103712612A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310463706.7
申请日：2013-09-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01P15/125
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/56 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P2015/0831
Abstract: 一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。
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公开(公告)号：CN103712612B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201310463706.7
申请日：2013-09-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01P15/125
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/56 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P2015/0831
Abstract: 一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。
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公开(公告)号：CN108413954A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810104997.3
申请日：2013-09-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01P15/097 , G01P15/125
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/56 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P2015/0831
Abstract: 本公开涉及一种集成检测结构和包括该集成检测结构的电子设备。集成检测结构包括：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。
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公开(公告)号：CN108534769A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810105444.X
申请日：2013-09-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/125
Abstract: 本公开的实施例涉及加速度和角速度谐振检测集成结构及相关MEMS传感器设备。一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。
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公开(公告)号：CN203772280U
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201320621912.1
申请日：2013-09-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/56 , G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/56 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P2015/0831
Abstract: 本实用新型的实施例提供一种集成检测结构，具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。
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