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公开(公告)号：CN103477420B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201180069932.6
申请日：2011-04-08
申请人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
IPC分类号： H01L21/20 , H01L21/762
CPC分类号： H01L24/83 , H01L21/0223 , H01L21/02255 , H01L21/187 , H01L21/2007 , H01L21/3105 , H01L21/76251 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L2224/27444 , H01L2224/278 , H01L2224/29188 , H01L2224/32145 , H01L2224/8309 , H01L2224/83896 , H01L2924/01013 , H01L2924/10252 , H01L2924/1032 , H01L2924/10328 , H01L2924/10329 , H01L2924/1033 , H01L2924/10331 , H01L2924/10332 , H01L2924/10333 , H01L2924/10334 , H01L2924/10335 , H01L2924/10336 , H01L2924/10346 , H01L2924/1082 , H01L2924/10821 , H01L2924/10823 , H01L2924/20106
摘要： 本发明涉及第一衬底(1)的第一接触面(3)与第二衬底(2)的第二接触面(4)的粘合方法，所述方法具有下列步骤，尤其是下列过程：‑ 在第一接触面(3)上的表面层(6)中形成储库(5)，其中表面层(6)至少主要由天然氧化物材料组成，‑ 用第一原料物或第一组原料物至少部分填充储库(5)，‑使第一接触面(3)与第二接触面(4)接触以形成预粘合连接，‑在第一和第二接触面(3,4)之间形成永久粘合，其通过第一原料物与第二衬底的反应层(7)中所含的第二原料物的反应至少部分增强。
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公开(公告)号：CN105517947A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201380079527.1
申请日：2013-09-13
申请人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
发明人： M.温普林格
CPC分类号： H01L24/83 , B81C3/001 , B81C2203/036 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L2224/29082 , H01L2224/291 , H01L2224/29105 , H01L2224/29111 , H01L2224/29116 , H01L2224/29117 , H01L2224/29118 , H01L2224/29123 , H01L2224/29124 , H01L2224/29139 , H01L2224/29144 , H01L2224/29147 , H01L2224/29155 , H01L2224/29157 , H01L2224/2916 , H01L2224/29166 , H01L2224/29169 , H01L2224/29171 , H01L2224/29184 , H01L2224/32145 , H01L2224/32507 , H01L2224/8302 , H01L2224/83022 , H01L2224/8381 , H01L2224/83894 , H01L2924/01003 , H01L2924/01005 , H01L2924/01011 , H01L2924/01012 , H01L2924/01019 , H01L2924/0102 , H01L2924/01034 , H01L2924/01037 , H01L2924/01038 , H01L2924/0105 , H01L2924/01052 , H01L2924/01055 , H01L2924/01056 , H01L2924/01322 , H01L2924/10251 , H01L2924/10252 , H01L2924/10253 , H01L2924/1026 , H01L2924/10271 , H01L2924/10272 , H01L2924/10323 , H01L2924/10328 , H01L2924/10329 , H01L2924/1033 , H01L2924/10331 , H01L2924/10332 , H01L2924/10333 , H01L2924/10334 , H01L2924/10335 , H01L2924/10336 , H01L2924/10346 , H01L2924/1037 , H01L2924/10371 , H01L2924/10372 , H01L2924/10373 , H01L2924/10375 , H01L2924/10376 , H01L2924/10377 , H01L2924/10821 , H01L2924/10823 , H01L2924/10831 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/01032 , H01L2924/01013 , H01L2924/01031 , H01L2924/0103
摘要： 本发明涉及一种用于将由基本层及保护层组成的接合层施加到基板上的方法，其具有以下方法步骤：将可氧化的基本材料作为基本层施加到该基板的接合侧上，用可至少部分地溶解于该基本材料中的保护材料作为保护层来至少部分地覆盖该基本层。另外，本发明涉及一种相应的基板。
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公开(公告)号：CN103477420A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201180069932.6
申请日：2011-04-08
申请人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
IPC分类号： H01L21/20 , H01L21/762
CPC分类号： H01L24/83 , H01L21/0223 , H01L21/02255 , H01L21/187 , H01L21/2007 , H01L21/3105 , H01L21/76251 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L2224/27444 , H01L2224/278 , H01L2224/29188 , H01L2224/32145 , H01L2224/8309 , H01L2224/83896 , H01L2924/01013 , H01L2924/10252 , H01L2924/1032 , H01L2924/10328 , H01L2924/10329 , H01L2924/1033 , H01L2924/10331 , H01L2924/10332 , H01L2924/10333 , H01L2924/10334 , H01L2924/10335 , H01L2924/10336 , H01L2924/10346 , H01L2924/1082 , H01L2924/10821 , H01L2924/10823 , H01L2924/20106
摘要： 本发明涉及第一衬底(1)的第一接触面(3)与第二衬底(2)的第二接触面(4)的粘合方法，所述方法具有下列步骤，尤其是下列过程：-在第一接触面(3)上的表面层(6)中形成储库(5)，其中表面层(6)至少主要由天然氧化物材料组成，-用第一原料物或第一组原料物至少部分填充储库(5)，-使第一接触面(3)与第二接触面(4)接触以形成预粘合连接，-在第一和第二接触面(3,4)之间形成永久粘合，其通过第一原料物与第二衬底的反应层(7)中所含的第二原料物的反应至少部分增强。
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