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    用于接合衬底的方法
    1.
    发明公开
    用于接合衬底的方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN114334626A

    公开(公告)日：2022-04-12

    申请号：CN202210003795.6

    申请日：2016-02-16

    申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

    发明人： F.库尔茨 ,  T.瓦根莱特纳 ,  T.普拉赫 ,  J.M.聚斯

    IPC分类号： H01L21/18 ,  H01L21/20 ,  H01L21/324 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67

    摘要： 本发明涉及一种用于将第一衬底（2）与第二衬底（2＇）在所述衬底（2，2＇）的接触面（2o，2o＇）处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底（2）保持在第一样品支架（1）的第一样品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2将所述第二衬底（2＇）保持在第二样品支架（1＇）的第二样品支架表面（1o＇）上，‑将所述接触面（2o，2o＇）在接合发起部位（20）处接触并且至少将所述第二样品支架表面（1o，1o＇）加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位（20）伸展至所述衬底（2，2＇）的侧边缘（2s，2s＇）的接合波，将所述第一衬底（2）与所述第二衬底（2＇）接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面（1o＇）上的所述加热温度TH。

    用于接合衬底的方法
    2.
    发明公开
    用于接合衬底的方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN114334623A

    公开(公告)日：2022-04-12

    申请号：CN202210003742.4

    申请日：2016-02-16

    申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

    发明人： F.库尔茨 ,  T.瓦根莱特纳 ,  T.普拉赫 ,  J.M.聚斯

    IPC分类号： H01L21/18 ,  H01L21/20 ,  H01L21/324 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67

    摘要： 本发明涉及一种用于将第一衬底（2）与第二衬底（2＇）在所述衬底（2，2＇）的接触面（2o，2o＇）处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底（2）保持在第一样品支架（1）的第一样品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2将所述第二衬底（2＇）保持在第二样品支架（1＇）的第二样品支架表面（1o＇）上，‑将所述接触面（2o，2o＇）在接合发起部位（20）处接触并且至少将所述第二样品支架表面（1o，1o＇）加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位（20）伸展至所述衬底（2，2＇）的侧边缘（2s，2s＇）的接合波，将所述第一衬底（2）与所述第二衬底（2＇）接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面（1o＇）上的所述加热温度TH。

    用以接合衬底的装置及方法
    3.
    发明授权
    用以接合衬底的装置及方法 有权

    公开(公告)号：CN109390221B

    公开(公告)日：2023-09-22

    申请号：CN201811177139.8

    申请日：2013-05-29

    申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

    发明人： T.瓦根莱特纳 ,  M.温普林格 ,  P.林德纳 ,  T.普拉赫 ,  F.库尔茨

    IPC分类号： H01L21/18

    摘要： 本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。

    用以接合衬底的装置及方法
    5.
    发明授权
    用以接合衬底的装置及方法 有权

    公开(公告)号：CN109449081B

    公开(公告)日：2023-07-14

    申请号：CN201811176939.8

    申请日：2013-05-29

    申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

    发明人： T.瓦根莱特纳 ,  M.温普林格 ,  P.林德纳 ,  T.普拉赫 ,  F.库尔茨

    IPC分类号： H01L21/18

    摘要： 本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。

    用于永久接合晶片的方法
    8.
    发明公开
    用于永久接合晶片的方法 有权

    公开(公告)号：CN105374667A

    公开(公告)日：2016-03-02

    申请号：CN201510911760.2

    申请日：2011-01-25

    申请人： EV集团E·索尔纳有限责任公司

    发明人： T.普拉赫 ,  K.欣格尔 ,  M.温普林格 ,  C.弗勒特根

    IPC分类号： H01L21/18 ,  H01L21/20

    CPC分类号： H01L21/187 ,  H01L21/2007 ,  H01L21/76251

    摘要： 本发明涉及用于永久接合晶片的方法。具体地，本发明揭示一种将第一基板(1)的第一接触表面(3)接合至第二基板(2)的第二接触表面(4)的方法，该方法包含以下步骤，尤其包含以下顺序：-在第一接触表面(3)的表面层(6)中形成贮液槽(5)，-利用第一起始物或第一组起始物至少部分填充该贮液槽(5)，-使第一接触表面(3)与第二接触表面(4)接触以形成预接合连接，-在第一与第二接触表面(3、4)之间形成永久接合，通过使第一起始物与第二基板的反应层(7)中含有的第二起始物反应来至少部分强化该永久接合。

    用于衬底的接合的装置和方法
    9.
    发明授权
    用于衬底的接合的装置和方法 有权

    公开(公告)号：CN108701592B

    公开(公告)日：2024-04-05

    申请号：CN201680083320.5

    申请日：2016-03-22

    申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

    发明人： T.瓦根莱特纳 ,  T.普拉赫 ,  J.M.聚斯

    IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/67

    摘要： 本发明涉及一种用于使第一衬底(4o)与第二衬底(4u)在衬底(4o,4u)的面向彼此的接触面(4k)处接合的方法，所述方法带有如下步骤、尤其如下流程：将第一衬底(4o)容纳在第一容纳设备(1,1',1'',1''',1IV,1V,1VI)的第一容纳面(1s,1s',1s'',1s''')处，并且将第二衬底(4u)容纳在第二容纳设备(1,1',1'',1''',1IV,1V,1VI)的第二容纳面(1s,1s',1s'',1s''')处，在接触面(4k)的接触之前使接触面(4k)弯曲，其特征在于，第一衬底(4o)的接触面(4k)的弯曲变化和/或第二衬底(4u)的接触面(4k)的弯曲变化在接合期间受控制。此外，本发明涉及一种对应的装置。

    用以接合衬底的装置及方法
    10.
    发明授权
    用以接合衬底的装置及方法 有权

    公开(公告)号：CN109390220B

    公开(公告)日：2023-05-23

    申请号：CN201811177137.9

    申请日：2013-05-29

    申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

    发明人： T.瓦根莱特纳 ,  M.温普林格 ,  P.林德纳 ,  T.普拉赫 ,  F.库尔茨

    IPC分类号： H01L21/18

    摘要： 本发明涉及一种用以接合衬底的装置及方法，其中在第一接纳设备(1)的第一接纳表面(2o)上安置该第一衬底(3)且在第二接纳设备(4)的第二接纳表面(2o')上接纳该第二衬底(8);在接合起始位点(20)上接触该接触表面(3k、8k);沿着自该接合起始位点(20)行进至该衬底(3、8)的侧边缘(3s、8s)的接合波将该第一衬底(3)接合至该第二衬底(8)，其中该第一衬底(3)和/或该第二衬底(8)经变形以在该接合之前和/或在该接合期间使该接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。