公开(公告)号：CN107078013A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201480078566.4

申请日：2014-05-09

申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

发明人： T.格林斯纳 ,  C.弗勒特根 ,  J.伯瑙尔 ,  T.瓦根莱特纳 ,  T.韦泽 ,  F.施密德 ,  T.普拉赫 ,  R.安岑格鲁贝尔 ,  A.诺内斯 ,  U.克里比施

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01J37/32568 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32715 ,  H01J37/32733 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68785

摘要： 本发明涉及一种装置，其用于将至少一个衬底(7)施加以等离子体，该装置具有第一电极(1)和可与该第一电极相对布置的第二电极(12)，该电极构造成在该电极(1、12)之间产生该离子体，其特征在于，该电极(1、12)中的至少一个由至少两个电极单元(2、3)形成。此外，本发明涉及相应方法。