用于永久接合晶片的方法
摘要:
本发明涉及用于永久接合晶片的方法。具体地,本发明揭示一种将第一基板(1)的第一接触表面(3)接合至第二基板(2)的第二接触表面(4)的方法,该方法包含以下步骤,尤其包含以下顺序:-在第一接触表面(3)的表面层(6)中形成贮液槽(5),-利用第一起始物或第一组起始物至少部分填充该贮液槽(5),-使第一接触表面(3)与第二接触表面(4)接触以形成预接合连接,-在第一与第二接触表面(3、4)之间形成永久接合,通过使第一起始物与第二基板的反应层(7)中含有的第二起始物反应来至少部分强化该永久接合。
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