一种功率器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN108962997A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810823512.6

    申请日:2018-07-25

    申请人: 阳林涛 王永贵

    发明人: 阳林涛 王永贵

    摘要: 本发明提供了一种功率器件及其制作方法,所述功率器件的制作方法包括:提供第一导电类型的衬底;在所述衬底下表面形成延伸至所述衬底内的第一沟槽,所述第一沟槽自所述衬底下表面延伸至所述衬底内的方向上宽度递减;在所述衬底上表面生长形成第一导电类型的外延层;在所述衬底下表面形成延伸至所述外延层内的第二沟槽,所述第二沟槽自所述衬底下表面延伸至所述外延层内的方向上宽度递减;在所述外延层上表面形成源极和栅极结构,其中,所述源极和栅极结构包括正面电极;在所述衬底的下表面形成背面电极;形成贯穿所述外延层上表面的防水层延伸至所述第二沟槽顶部的第三沟槽。由于在形成所述第三沟槽后,不用再进行单独的划片步骤。