激光加工装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105458493B

    公开(公告)日:2017-10-27

    申请号:CN201510632593.8

    申请日:2015-09-29

    发明人: 森敦

    IPC分类号: B23K26/064

    摘要: 一种激光加工装置,具备:加工头,其向工件照射激光;以及聚光光学部,其设置于加工头,使从激光光源入射到加工头的具有扩散角的激光会聚并作为具有聚光角的激光从加工头射出。激光加工装置具备设置于加工头的透过光学构件,该透过光学构件配置于从激光的行进方向看时的聚光光学部的上游侧来使激光在透过前后扩散角维持固定地透过,或者配置于从激光的行进方向看时的聚光光学部的下游侧来使激光在透过前后聚光角维持固定地透过。透过光学构件具备使激光的聚光直径扩大的聚光直径扩大部分。聚光直径扩大部分使透过了聚光直径扩大部分的激光的聚光直径比不透过聚光直径扩大部分而被聚光光学部会聚时的激光的聚光直径大。

    光刻设备、器件制造方法和施加图案到衬底上的方法

    公开(公告)号:CN102402129B

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201110263560.2

    申请日:2011-09-07

    IPC分类号: G03F7/20 G03F9/00 G03F7/00

    CPC分类号: G02B27/40 G03F9/7049

    摘要: 本发明公开了一种光刻设备、一种器件制造方法以及一种用于将图案应用至衬底的方法,其中光刻设备被布置成将图案从图案形成装置转移到衬底上,其中测量子系统包括朝向衬底引导的靠近图案形成子系统的图案化区域的一个或(优选地)更多的对准和水平传感器。对准传感器是可操作的以在定位子系统的控制之下在衬底和图案形成子系统的相对运动期间经过传感器来识别和测量衬底上的对准标记。处理器组合多个所述标记的相对区域的测量结果以提供对于定位子系统来说具有足够精确度的测量结果,来相对于对准标记在图案化区域处定位至少第一衬底部分。预备步骤获得了相对于图案形成装置上的已知图案的位置。在连续的衬底部分的曝光期间实时地进行测量和更新。

    光拾取装置、信息处理装置和信号处理方法

    公开(公告)号:CN1925029A

    公开(公告)日:2007-03-07

    申请号:CN200610128031.0

    申请日:2006-08-31

    发明人: 安泽卓也

    IPC分类号: G11B7/09 G11B7/00

    摘要: 本发明公开一种用于对光盘进行记录或再现信息的光拾取装置,包括:第一光电探测器,用于检测来自所述光盘的返回光;其中,配置所述第一光电探测器,以便在与所述光盘的直径方向相对应的径向方向上将所述第一光电探测器分割成三个部分、并且在基本上与径向方向垂直的跟踪方向上将径向方向上的两个端部部分的光接收元件分割成三个部分,从而所述第一光电探测器包括径向方向上中心部分的光接收元件、以及两个端部部分上的各三个光接收元件的总共七个光接收元件,根据返回光的光接收输出光接收元件信号作为跟踪误差信号生成信号。

    镜头调焦设备及其可替换式图表显示模块

    公开(公告)号:CN107179594B

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201610133675.2

    申请日:2016-03-09

    发明人: 徐文良

    IPC分类号: G02B7/04 G02B7/182

    摘要: 本发明公开一种镜头调焦设备及其可替换式图表显示模块,镜头调焦设备包括镜头夹持模块、可替换式图表显示模块以及焦距缩短模块。镜头夹持模块夹持至少一待测镜头。可替换式图表显示模块包括一框架结构、一可拆卸地设置在框架结构上的第一图表显示组件以及多个可拆卸地设置在框架结构上的第二图表显示组件。焦距缩短模块包括一第一焦距缩短结构以及多个第二焦距缩短结构。第一焦距缩短结构设置在待测镜头与第一图表显示组件之间,且每一个第二焦距缩短结构设置在待测镜头与相对应的第二图表显示组件之间。由于第一、二图表显示组件都是属于可替换性的图表,所以能增加用户在进行镜头调焦时的便利性。

    用于将光学组件重新聚焦的方法

    公开(公告)号:CN107873088A

    公开(公告)日:2018-04-03

    申请号:CN201580076750.X

    申请日:2015-12-22

    发明人: 阿诺·德沃

    摘要: 本发明涉及一种使用来源于短脉冲光源(2)的至少一个光束(fu)将光学机构重新聚焦在目标表面(100)上的方法,所述光学机构包括用于将所述光束(fu)聚焦在所述目标表面(100)上的至少一个光学器件(5),其中所述重新聚焦在知悉了所述光学机构被视为聚焦的参考条件(d1)之后发生。根据方法:检测聚焦信号,其表示由所述目标表面(100)反射的光束(fr)与不由所述目标表面(100)反射且从所述源(2)导出的参考光束(fref)之间的脉冲的时间叠加,所述光束中的一个由延迟线(14)延迟,基于所述参考条件,使得其上放置了所述延迟线(14)的所述光束的光学路径变化以导致所述聚焦信号到达或超过预定义阈值,以及基于对在参考条件(d1)与所述聚焦信号到达或超过所述预定义阈值的第二条件(d2)之间的光学路径的变化的知悉,重新调节所述聚焦。

    激光加工装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105458493A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201510632593.8

    申请日:2015-09-29

    发明人: 森敦

    IPC分类号: B23K26/06

    摘要: 一种激光加工装置,具备:加工头,其向工件照射激光;以及聚光光学部,其设置于加工头,使从激光光源入射到加工头的具有扩散角的激光会聚并作为具有聚光角的激光从加工头射出。激光加工装置具备设置于加工头的透过光学构件,该透过光学构件配置于从激光的行进方向看时的聚光光学部的上游侧来使激光在透过前后扩散角维持固定地透过,或者配置于从激光的行进方向看时的聚光光学部的下游侧来使激光在透过前后聚光角维持固定地透过。透过光学构件具备使激光的聚光直径扩大的聚光直径扩大部分。聚光直径扩大部分使透过了聚光直径扩大部分的激光的聚光直径比不透过聚光直径扩大部分而被聚光光学部会聚时的激光的聚光直径大。

    数字相机
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103782213A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201280042422.4

    申请日:2012-08-30

    发明人: 小柴贤明

    摘要: 在本发明中,对于带有偏置色相的对象准确地调整焦点。固态成像装置(20)具有正常像素(RN、GN、BN)、第一相差像素(RL、GL、BL),和第二相差像素(RR、GR、BR)。R、G和B表示为分别的每一个像素提供的滤色器滤色器的颜色。颜色依赖特性计算单元器(64)通过在颜色基础上将来自位于屏幕的中心处的正常像素(RN、GN、BN)的输出信号平均化,并且由此,计算平均输出(PR、PG、PB)。颜色确定单元部(65)基于平均输出(PR、PG、PB)在三基色中的平均输出(PR、PG、PB)确定主题对象的主要颜色。自动聚焦控制单元(27)在来自第一相差像素(RL、GL、BL)和第二相差像素(RR、GR、BR)中基于所确定的颜色的输出信号调整拍摄透镜(14)的焦点。