一种低残余应力的硬质类金刚石薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN110423989B

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN201910794859.7

    申请日:2019-08-27

    Abstract: 一种低残余应力的硬质类金刚石薄膜的制备方法,依次包括清洗、预处理、沉积纯Ti层、沉积TiC层、沉积DLC复合层和后处理步骤,其特征在于:所述沉积DLC复合层,是依次沉积第一层DLC层、TiC层和第二层DLC层。膜的内应力通过Ti层、TiC层过渡缓冲得到释放,增强了Ni‑Ti合金基材与膜的结合力,以及膜层与膜层之间的结合力,制得的类金刚石膜均匀性好、表面平整,采用Si、Cu非金属与金属的共掺杂,减小体系弹性能,从而减小膜的内应力,同时增强了膜的热传导能力、膜的石墨化温度到600℃以上,保证了其机械性能,增强其稳定性,整个制备过程中增加了膜中sp3键的比例,也提高了膜的硬度、弹性模量。

    一种低残余应力的硬质类金刚石薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN110423989A

    公开(公告)日:2019-11-08

    申请号:CN201910794859.7

    申请日:2019-08-27

    Abstract: 一种低残余应力的硬质类金刚石薄膜的制备方法,依次包括清洗、预处理、沉积纯Ti层、沉积TiC层、沉积DLC复合层和后处理步骤,其特征在于:所述沉积DLC复合层,是依次沉积第一层DLC层、TiC层和第二层DLC层。膜的内应力通过Ti层、TiC层过渡缓冲得到释放,增强了Ni-Ti合金基材与膜的结合力,以及膜层与膜层之间的结合力,制得的类金刚石膜均匀性好、表面平整,采用Si、Cu非金属与金属的共掺杂,减小体系弹性能,从而减小膜的内应力,同时增强了膜的热传导能力、膜的石墨化温度到600℃以上,保证了其机械性能,增强其稳定性,整个制备过程中增加了膜中sp3键的比例,也提高了膜的硬度、弹性模量。

    γ-咔啉酮衍生物及其合成方法和应用

    公开(公告)号:CN117659008A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311600042.4

    申请日:2023-11-28

    Abstract: 本发明提供了一种γ‑咔啉酮衍生物及其合成方法和应用。本发明的γ‑咔啉酮衍生物的合成方法包括如下步骤:步骤1:将化合物(1)、化合物(2)、化合物(3)和化合物(4)在有机溶剂中反应,得到化合物(5);步骤2:将所述化合物(5)用溶剂溶解,再加入酸,在微波条件下反应,得到γ‑咔啉酮衍生物(6);其反应式如下。本发明提供的γ‑咔啉酮衍生物的合成方法具有操作工艺简单高效、成本低、收率高、无需金属催化、底物适用范围广等优点。本发明制备的γ‑咔啉酮衍生物具有抗肿瘤活性,可用于制备抗肿瘤药物。

    一种用于蓝宝石基底的增透薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN111856628A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010731907.0

    申请日:2020-07-27

    Abstract: 本发明提供一种用于蓝宝石基底的增透薄膜,该增透薄膜包括五层薄膜层,其由蓝宝石材料基面(1)向外依次为SiO2薄膜层(2)、第一SiOxNy薄膜层(3)、第二SiOxNy薄膜层(4)、第三SiOxNy薄膜层(5)、第四SiOxNy薄膜层(6);该增透薄膜通过平衡磁控溅射方法制备SiO2薄膜层(2)以及通过氮气、氧气以及氩气的不同速率制备氮元素的原子百分数依次递减、氧元素的原子百分数依次递增的SiOxNy薄膜层。该增透薄膜有效提高蓝宝石材料在红外波段的透过率、降低其反射率,使得蓝宝石材料整体具有较小的吸收、散射特性;同时,该增透薄膜与蓝宝石基底结合强度高、致密度高、结合牢靠,能有效用于军用光电装备等高强度领域,使用寿命长。

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