镀铝铜结合导线及制作其的方法

    公开(公告)号:CN104272455B

    公开(公告)日:2018-09-21

    申请号:CN201380023792.8

    申请日:2013-05-07

    Abstract: 本发明涉及导线,优选地用于微电子学中的结合的结合导线,包括具有表面的铜芯(2)和涂层(3),该涂层(3)被叠加在铜芯(2)的表面上,其中,涂层(3)包括铝,其中,涂层(3)的厚度与铜芯(2)的直径的比在从0.05至0.2µm范围内,其中,铜芯(2)的直径的标准偏差与铜芯(2)的直径的比在从0.005至0.05µm范围内,并且其中,涂层(3)的厚度的标准偏差与涂层(3)的厚度的比在从0.05至0.4µm范围内,其中导线具有在从100µm至600µm范围内的直径。本发明还涉及一种用于制作导线的工艺、由所述工艺可获得的导线、包括至少两个元件和至少上述导线的电设备、包括所述电设备的推进设备和由楔结合来通过上述导线连接两个元件的工艺。

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