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公开(公告)号：CN1191470C
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN02154380.1
申请日：2002-12-04
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/9501
Abstract: 本发明的课题是，在对基板表面照射激光光线、通过检测该激光光线的散射反射光来检测异物的表面检查装置中，包含具有发射激光光线的多个发光源的光源部和将来自该各发光源的激光光线照射到基板表面上的照射光学系统。
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公开(公告)号：CN100480689C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200310122075.9
申请日：2003-12-22
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01N21/892 , G01N21/47 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/9501
Abstract: 本发明的表面检查方法包括：用同一投影透镜，将波长不同的至少两个激光束照射到相同检查部位的步骤；设定两激光束的入射角，使各激光束的反射率值的变动互补的步骤；以及检测反射散射光的步骤。
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公开(公告)号：CN101995228A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010255057.8
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/25 , G01B11/0608 , G01N21/951 , G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种具有照射线状光的出射光学系统和获得从被测量物反射的线状反射光的摄像元件并根据所获得的线状反射光在被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状的测量装置，具备：多个成像光学系统，设置在被测量物与摄像元件之间，使线状反射光成像于摄像元件的受光面上以获得线状光在被测量物上的形状；光束分束机构，设置在被测量物与各成像光学系统之间，将线状反射光分束并导向关于被测量物的测量对象的光学设定彼此不同的各成像光学系统。摄像元件在受光面上设定有被划分为多个区域的多个片段，各个片段的至少一个或更多的区域用作受光区域，各成像光学系统使被分束的线状反射光成像于受光面上彼此不同的片段的受光区域上。
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公开(公告)号：CN1068681C
公开(公告)日：2001-07-18
申请号：CN95106882.2
申请日：1995-06-22
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G02B27/0927 , G02B27/0988 , G02B27/58
Abstract: 本发明系采用激光的投影机，包含激光光源；将激光传送到被照射物体，在该物体上形成第1投影像用的光传送装置；及位于该光传送装置与该被照射物体间，在被照射物体上形成由衍射条纹构成的环状的第2投影像用的光圈部件，光传送装置由平行光管透镜构成，且满足D＜(f/r)×λ或(r/λ)＜(f/D)＝Fno的条件，D为平行光管透镜孔径，f为其焦距，r光源大小，λ为光波长，Fno为光圈数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102269934A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201110130113.X
申请日：2011-05-19
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种曝光装置，结构简单且可以获得极高的对准精度。该曝光装置是一种使既定的掩模(18a)图形曝光于目标工件(23)上的曝光装置(10)。具备：对准照明组件(30)，能够将采用了曝光光的对准光照射在掩模(18a)的掩模侧对准标记(51)上；对准照相机组件(40)，用来使从对准照明组件(30)出射的、经过掩模(18a)以及投影透镜(20)的对准光入射。对准照相机组件(40)具有：成像光学系统，将掩模侧对准标记像(53)形成在虚设工件区域(42a)，该虚设工件区域(42a)相对于被入射的对准光照射下的掩模(18a)，位于不同于目标工件(23)的位置而与该目标工件(23)在光学上的位置关系同等；摄像光学系统，目标工件(23)和虚设工件区域相对于摄像装置的光学上位置关系同等。
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公开(公告)号：CN101995217A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010255058.2
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01B11/245 , G01B11/25
Abstract: 一种具备对被测量物照射沿一个方向延伸的线状光的出射光学系统和获得线状反射光的摄像元件的测量装置，根据线状反射光在被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状，具备：成像光学系统，设置在被测量物与摄像元件之间，使线状反射光成像于摄像元件的受光面上以获得线状光在被测量物上的形状；光束分束机构，将线状反射光分束并导向摄像元件。光束分束机构将线状反射光分束以获得在线状光延伸方向上观察时线状光在彼此不同的位置上在被测量物上的形状。摄像元件在受光面上设定有被划分为多个区域的多个片段，各片段中的至少一个或更多的区域用作受光区域，成像光学系统使分束的线状反射光成像于受光面上彼此不同的片段的受光区域上。
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公开(公告)号：CN1510416A
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN200310122075.9
申请日：2003-12-22
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01N21/896
CPC classification number: G01N21/9501
Abstract: 本发明的表面检查方法包括：用同一投影透镜，将波长不同的至少两个激光束照射到相同检查部位的步骤；设定两激光束的入射角，使各激光束的反射率值的变动互补的步骤；以及检测反射散射光的步骤。
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公开(公告)号：CN1424576A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN02154380.1
申请日：2002-12-04
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/9501
Abstract: 本发明的课题是，在对基板表面照射激光光线、通过检测该激光光线的散射反射光来检测异物的表面检查装置中，包含具有发射激光光线的多个发光源的光源部和将来自该各发光源的激光光线照射到基板表面上的照射光学系统。
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公开(公告)号：CN1122010A
公开(公告)日：1996-05-08
申请号：CN95106882.2
申请日：1995-06-22
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G03B21/00
CPC classification number: G02B27/0927 , G02B27/0988 , G02B27/58
Abstract: 本发明系一种关于采用激光的投影机，特别是在平行光管透镜与被照射物体之间设置光圈、能投射由衍射条纹形成的环状投影像的环状激光光点投影机，激光源发射出激光，光传送装置向被照射物体传送激光，在被照射物体上形成第一投影像，设置于该光传送装置与该被照射物体之间的光圈部件，在对激光光束加以整形的同时，在被照射物体上形成由衍射条纹构成的环状的第2投影像。
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