公开(公告)号：CN1510416A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN200310122075.9

申请日：2003-12-22

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  佐藤卓司 ,  榎本芳幸 ,  前川博之

IPC: G01N21/896

CPC classification number: G01N21/9501

Abstract: 本发明的表面检查方法包括：用同一投影透镜，将波长不同的至少两个激光束照射到相同检查部位的步骤；设定两激光束的入射角，使各激光束的反射率值的变动互补的步骤；以及检测反射散射光的步骤。

公开(公告)号：CN1298036C

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN03128610.0

申请日：2003-03-27

Applicant: 株式会社拓普康 ,  富士通株式会社

Inventor： 矶崎久 ,  山崎伦启 ,  吉川浩 ,  神酒直人 ,  前川博之 ,  高桥直弘

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01N21/94

Abstract: 一种表面检查方法，其是在具有受光部和受光偏振角变更部件的表面检查装置中进行表面检查的，该方法包括：利用受光偏振角变更部件改变受光偏振角和接受来自涂有标准粒子的基片表面的散射反射光的步骤；通过对以直方图得到的极小值、极大值进行明确分离、以得到异物散射受光输出和基片表面散射受光输出的比、即S/N比变为最大的步骤；在上述S/N中以极小值、极大值的比为0.7以上时判断该S/N比为最大的步骤；以及在受光输出的S/N比变为最大的状态下设定受光偏振角进行表面检查的步骤。本发明还提供一种表面检查装置。

公开(公告)号：CN100480689C

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200310122075.9

申请日：2003-12-22

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  佐藤卓司 ,  榎本芳幸 ,  前川博之

IPC: G01N21/892 ,  G01N21/47 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501

Abstract: 本发明的表面检查方法包括：用同一投影透镜，将波长不同的至少两个激光束照射到相同检查部位的步骤；设定两激光束的入射角，使各激光束的反射率值的变动互补的步骤；以及检测反射散射光的步骤。

公开(公告)号：CN1447411A

公开(公告)日：2003-10-08

申请号：CN03128610.0

申请日：2003-03-27

Applicant: 株式会社拓普康 ,  富士通株式会社

Inventor： 矶崎久 ,  山崎伦启 ,  吉川浩 ,  神酒直人 ,  前川博之 ,  高桥直弘

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01N21/94

Abstract: 一种表面检查方法，它包括：在具备受光部和受光偏振角变更部件的表面检查装置中，利用上述受光偏振角变更部件改变受光偏振角，接受来自涂有标准粒子的基片表面的散射反射光的步骤，和在受光输出的S/N比变为最大的状态下设定受光偏振角，进行表面检查的步骤。