公开(公告)号：CN1510416A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN200310122075.9

申请日：2003-12-22

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  佐藤卓司 ,  榎本芳幸 ,  前川博之

IPC: G01N21/896

CPC classification number: G01N21/9501

Abstract: 本发明的表面检查方法包括：用同一投影透镜，将波长不同的至少两个激光束照射到相同检查部位的步骤；设定两激光束的入射角，使各激光束的反射率值的变动互补的步骤；以及检测反射散射光的步骤。

公开(公告)号：CN100480689C

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200310122075.9

申请日：2003-12-22

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  佐藤卓司 ,  榎本芳幸 ,  前川博之

IPC: G01N21/892 ,  G01N21/47 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501

Abstract: 本发明的表面检查方法包括：用同一投影透镜，将波长不同的至少两个激光束照射到相同检查部位的步骤；设定两激光束的入射角，使各激光束的反射率值的变动互补的步骤；以及检测反射散射光的步骤。