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公开(公告)号:CN102308187B
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN200980155991.8
申请日:2009-11-11
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G01D5/38
CPC classification number: G01D5/38 , G01D5/34746
Abstract: 编码器,其具备:光调制部,用以调制从光源射出的光的至少一部分;移动构件,具有光中的多个光线射入的入射面,可于至少一方向相对移动;以及至少两个受光部,分别接受在移动构件上的至少两个区域产生的干涉条纹;以随着光调制部进行的调制使至少两个干涉条纹在移动构件上彼此移动于相反方向的方式,使光射入移动构件。
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公开(公告)号:CN110959101B
公开(公告)日:2023-01-17
申请号:CN201880048937.2
申请日:2018-07-12
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明的课题是高精度地检测旋转体的旋转位置信息。校正装置具备:位置计算部,其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号,计算出第1检测部与第2检测部的相对位置,其中标尺安装于旋转体;和误差计算部,其基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置,计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。
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公开(公告)号:CN111602032A
公开(公告)日:2020-08-28
申请号:CN201980008453.X
申请日:2019-01-09
Applicant: 株式会社尼康
Inventor: 渡边昭宏
Abstract: 本发明的编码器装置具备:检测移动部的位置信息的位置检测部、沿所述移动部的移动方向具有多个极性的磁铁;以及电信号产生部,其具有磁特性根据伴随与所述磁铁的相对移动的磁场的变化而变化的感磁部,基于所述感磁部的磁特性而产生电信号,所述感磁部以和与所述移动方向正交的方向上的所述磁铁的侧面隔开间隔、且使所述感磁部的长度方向与所述磁铁的至少一部分的磁力线的切线方向正交的方式配置。能够减少因磁铁的不需要的磁场引起而产生稳定的电信号,提高检测结果的可靠性。
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公开(公告)号:CN103609006A
公开(公告)日:2014-02-26
申请号:CN201280030082.3
申请日:2012-06-22
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G01D5/34738 , G01D5/24442 , H02K11/22
Abstract: 一种编码器,具备具有检测部的主体部和具有图案的圆板部。圆板部具有用于主体部相对于圆板部的定位的第一面和用于圆板部相对于检测对象的旋转轴的定位的第二面。第一面的至少一部分,与图案相比,位于径向外侧。
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公开(公告)号:CN110959101A
公开(公告)日:2020-04-03
申请号:CN201880048937.2
申请日:2018-07-12
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明的课题是高精度地检测旋转体的旋转位置信息。校正装置具备:位置计算部,其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号,计算出第1检测部与第2检测部的相对位置,其中标尺安装于旋转体;和误差计算部,其基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置,计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。
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公开(公告)号:CN107110669A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580058916.5
申请日:2015-10-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 提供一种以简单的结构来得到多旋转信息的编码器装置。编码器装置(EC)具备:第1编码器(1),其检测第1轴(AX1)的旋转位置;第2编码器(2),其检测相对于第1轴(AX1)以一定的变速比进行旋转的第2轴(AX2)的旋转位置;以及检测部(4),其基于第1编码器(1)所检测的旋转位置和第2编码器(2)所检测的旋转位置进行运算处理,并基于该运算结果来检测第1轴(AX1)的多旋转信息。
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公开(公告)号:CN103609006B
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201280030082.3
申请日:2012-06-22
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G01D5/34738 , G01D5/24442 , H02K11/22
Abstract: 一种编码器,具备具有检测部的主体部和具有图案的圆板部。圆板部具有用于主体部相对于圆板部的定位的第一面和用于圆板部相对于检测对象的旋转轴的定位的第二面。第一面的至少一部分,与图案相比,位于径向外侧。
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