公开(公告)号：CN110959101A

公开(公告)日：2020-04-03

申请号：CN201880048937.2

申请日：2018-07-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 渡边昭宏 ,  高崎政久

IPC: G01D5/347 ,  G01D5/244

Abstract: 本发明的课题是高精度地检测旋转体的旋转位置信息。校正装置具备：位置计算部，其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置，其中标尺安装于旋转体；和误差计算部，其基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。

公开(公告)号：CN110959101B

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN201880048937.2

申请日：2018-07-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 渡边昭宏 ,  高崎政久

IPC: G01D5/347 ,  G01D5/244

Abstract: 本发明的课题是高精度地检测旋转体的旋转位置信息。校正装置具备：位置计算部，其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置，其中标尺安装于旋转体；和误差计算部，其基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。