编码器装置及其制造方法、驱动装置、工作台装置及机械手装置

    公开(公告)号:CN111801551A

    公开(公告)日:2020-10-20

    申请号:CN201980013309.5

    申请日:2019-03-22

    Inventor: 三桥雄一

    Abstract: 编码器装置具备:位置检测部,其检测移动部的位置信息;磁铁,其沿所述移动部的移动方向具有多个极性;电信号产生部,其具有根据伴随所述移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导的第1磁性体,所述电信号产生部基于所述磁性感应部的磁特性而产生电信号;和第2磁性体,其配置于所述磁铁与所述磁性感应部之间,用于将所述磁铁的一个极性部分的磁感线向所述磁铁的其他极性部分引导。能够减少磁铁因不必要的磁场而产生的噪音,从而产生稳定的电信号,能够实现检测结果的可靠性的提高。

    编码器用标尺、编码器、驱动装置及载台装置

    公开(公告)号:CN105593644A

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201480054431.4

    申请日:2014-09-30

    Inventor: 三桥雄一

    Abstract: 通过相对于磁检测部形成强的磁场,能够减小编码器用标尺,从而能够实现编码器的小型化。一种编码器用标尺(S)具有以旋转轴(AX)为中心旋转的基板(10),在与旋转轴(AX)交叉的基板(10)的第一面(10a)上,具有沿着旋转方向(D)的光学图案(33),其中,在与第一面(10a)不同的基板(10)的第二面(10b)上,具有隔着旋转轴(AX)地设定成不同的磁极(N极M1n、S极M1s)的第一磁铁(M1),在第一面(10a)上具有在第一磁铁(M1)的各个N极(M1n)、S极(M1s)之间形成磁场的第二磁铁(M2)。

    编码器装置及其制造方法、驱动装置、工作台装置及机械手装置

    公开(公告)号:CN111801551B

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN201980013309.5

    申请日:2019-03-22

    Inventor: 三桥雄一

    Abstract: 编码器装置具备:位置检测部,其检测移动部的位置信息;磁铁,其沿所述移动部的移动方向具有多个极性;电信号产生部,其具有根据伴随所述移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导的第1磁性体,所述电信号产生部基于所述磁性感应部的磁特性而产生电信号;和第2磁性体,其配置于所述磁铁与所述磁性感应部之间,用于将所述磁铁的一个极性部分的磁感线向所述磁铁的其他极性部分引导。能够减少磁铁因不必要的磁场而产生的噪音,从而产生稳定的电信号,能够实现检测结果的可靠性的提高。

    编码器用标尺、编码器、驱动装置及载台装置

    公开(公告)号:CN105593644B

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201480054431.4

    申请日:2014-09-30

    Inventor: 三桥雄一

    Abstract: 通过相对于磁检测部形成强的磁场,能够减小编码器用标尺,从而能够实现编码器的小型化。一种编码器用标尺(S)具有以旋转轴(AX)为中心旋转的基板(10),在与旋转轴(AX)交叉的基板(10)的第一面(10a)上,具有沿着旋转方向(D)的光学图案(33),其中,在与第一面(10a)不同的基板(10)的第二面(10b)上,具有隔着旋转轴(AX)地设定成不同的磁极(N极M1n、S极M1s)的第一磁铁(M1),在第一面(10a)上具有在第一磁铁(M1)的各个N极(M1n)、S极(M1s)之间形成磁场的第二磁铁(M2)。

    编码器装置、驱动装置、工作台装置及机械手装置

    公开(公告)号:CN117664192A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311669422.3

    申请日:2019-03-22

    Inventor: 三桥雄一

    Abstract: 提供一种编码器装置、驱动装置、工作台装置及机械手装置。编码器装置具备:位置检测部,其检测移动部的位置信息;磁铁,其沿所述移动部的移动方向具有多个极性;电信号产生部,其具有根据伴随所述移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导的第1磁性体,所述电信号产生部基于所述磁性感应部的磁特性而产生电信号;和第2磁性体,其配置于所述磁铁与所述磁性感应部之间,用于将所述磁铁的一个极性部分的磁感线向所述磁铁的其他极性部分引导。能够减少磁铁因不必要的磁场而产生的噪音,从而产生稳定的电信号,能够实现检测结果的可靠性的提高。

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