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公开(公告)号：CN112803696B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202011252642.2
申请日：2020-11-11
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H02K29/08 , H02K5/16 , H02K11/215
Abstract: 真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器。减少真空马达用编码器中的杂质气体的产生。第一真空用马达(M1)具有：在轴向上延伸设置的第一回转轴部件(73)；将第一回转轴部件(73)支承为能够旋转的轴承(97)；盘(145)，其能够与第一回转轴部件(73)一起旋转，在该盘形成有缝隙；由非磁性材料构成并支承轴承(97)的第一托架(95)；凹部(151)，其以在轴向上凹陷的方式形成于第一托架(95)；和传感器单元(147)，其隔着借助凹部(151)形成的薄壁部(185)而与盘(145)在轴向上对置配置，对缝隙进行检测，配置传感器单元(147)且成为大气压的空间和配置盘(145)且被减压为比大气压低的压力的空间被薄壁部(185)隔绝。
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公开(公告)号：CN106104213B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201480077269.8
申请日：2014-12-09
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/347
Abstract: 本发明提供编码器和带编码器的电机，能够提高检测精度。该编码器具有：沿着测量方向(C)的图案(SA1、SA2)；向图案(SA1、SA2)射出光的光源(131)；以及沿着测量方向(C)排列，接收从光源(131)射出并被图案(SA1、SA2)反射的光的受光阵列(PA1、PA2)，受光阵列(PA1、PA2)各自具有的多个受光元件(P1～P9)包括具有末端渐细形状的尖端部(Ps)的第1受光元件(P2～P8)。
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公开(公告)号：CN106104214A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201480077280.4
申请日：2014-12-09
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/347
Abstract: 本发明提供编码器和带编码器的电机，能够提高检测精度。该编码器具有：沿着测量方向(C)的图案(SA1、SA2)；向图案(SA1、SA2)射出光的光源(131)；以及沿着测量方向(C)排列，接收从光源(131)射出并被图案(SA1、SA2)反射的光的受光阵列(PA1、PA2)，受光阵列(PA1、PA2)各自具有的多个受光元件各自的测量方向(C)上的最大外形尺寸(TPA2)以及与测量方向垂直的宽度方向(R)上的最大外形尺寸(WPA2)彼此相等，并且，离光源(131)的距离不同的受光元件彼此具有不同的形状，使得各自的受光光量彼此相等。
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公开(公告)号：CN106165266B
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201480077270.0
申请日：2014-10-10
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H02K5/00 , H02K11/215
Abstract: 本发明提供电机和电机用编码器，能够降低来自电机电磁部和电磁制动器的漏磁通对磁场传感器的影响。具有编码器(100)的伺服电机(SM)具有：使电机轴(SH1)旋转的电机电磁部(M)和进行电机轴(SH1)的制动的电磁制动器(200)，编码器(100)具有：被支撑为与电机轴(SH1)一同旋转的磁铁(111a～111d)；磁场传感器(120a～120c)，其包含具备大巴克豪森效应的磁性体(121)，检测磁铁(111a～111d)的磁场；以及作为磁通感应部件的支柱部件(147a～147c)，其以如下方式对漏磁通进行感应：使得从电机电磁部(M)和电磁制动器(200)中的至少一方朝向磁场传感器(120a～120c)的漏磁通成为与磁场传感器(120a～120c)的长度方向正交的方向。
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公开(公告)号：CN104613998B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201410635791.5
申请日：2014-11-05
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/3473 , G01D5/24438 , G01D5/34715 , G01D5/34746 , G05B1/04 , G05B2219/37104 , H02K11/22
Abstract: 本发明涉及一种编码器、具有编码器的电机、和伺服系统。光学模块(120)包括被构成为向多个狭缝轨道射出扩散光的光源(121)、被配置成在与测量方向大致垂直的宽度方向上夹着点光源(121)的两个受光阵列(PA1，PA2)；被配置成在测量方向上夹着点光源(121)的两个受光阵列(PI2L，PI2R)；以及被构成为接收被具有间距与其他的增量图案的间距不同的增量图案的狭缝轨道(SI1)反射的光并且被配置在点光源(121)的配置第一受光阵列(PA1)的方向上的位置的受光阵列(PI1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103175556B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210259520.5
申请日：2012-07-20
Applicant: 株式会社安川电机
Inventor： 原田正信
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/24438 , G01D5/34715
Abstract: 提供一种编码器和伺服马达。编码器（100）包括：第一基板（125），所述第一基板包括点光源（121）以及光接收元件（122a,123a），所述点光源将光发射到在盘（110）上形成的反射狭缝上，所述光接收元件接收从所述点光源（121）发出并且由所述反射狭缝反射的光；第二基板（130），所述第一基板（125）安装在该第二基板上；有光泽的连接部（180），所述连接部构造成将所述第一基板（125）和所述第二基板（130）电连接；以及覆盖材料（190），所述覆盖材料构造成以使得所述点光源（121）和所述光接收元件（122a,123a）露出的方式覆盖所述连接部（180）。
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公开(公告)号：CN104613994A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201410602653.7
申请日：2014-10-31
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G05B1/04 , G01D5/34792 , G01D5/36 , H02K11/22
Abstract: 本发明涉及编码器、具有编码器的电机、和伺服系统。一种编码器(100)，包括：分别包括沿着测量方向设置的多个反射狭缝的多个狭缝轨道(SA，SI1，SI2)；被构成为向多个狭缝轨道(SA，SI1，SI2)射出扩散光的光源(121)；被构成为接收被具有增量图案的狭缝轨道(SI2)反射的光的受光阵列(PI2)；被构成为接收被具有比其他增量图案的间距更长的间距的增量图案的狭缝轨道(SI1)反射的光、并且被配置在配置有光源(121)而不是配置有受光阵列(PI2)的方向侧的位置处的受光阵列(PI2)；以及被构成为接收被具有绝对图案的狭缝轨道(SA)反射的光、并且被配置在配置有所述光源(121)而不是配置有受光阵列(PI2)的方向侧的位置处的受光阵列(PA)。
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公开(公告)号：CN112240781B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202010439653.5
申请日：2020-05-22
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/36 , G01D5/347 , H02K11/215
Abstract: 编码器、伺服电机、伺服系统。减小传感器部的位置偏移对绝对位置检测精度的影响。编码器具有盘和光学模块，盘具有第一绝对图案的狭缝轨道(SA1)和第二绝对图案的狭缝轨道(SA2)。光学模块具有：受光阵列(PA1)，接收由狭缝轨道(SA1)反射的光，由多个第一受光元件与多个第二受光元件交替配置而成，多个第一受光元件输出第一相位的第一绝对信号，多个第二受光元件输出第二相位的第一绝对信号；受光阵列(PA2)，配置成在与受光阵列(PA1)之间隔着光轴(Op)，接收由狭缝轨道(SA2)反射的光，由多个第三受光元件与多个第四受光元件交替配置而成，多个第三受光元件输出第一相位的第二绝对信号，多个第四受光元件输出第二相位的第二绝对信号。
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公开(公告)号：CN106104214B
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201480077280.4
申请日：2014-12-09
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/347
Abstract: 本发明提供编码器和带编码器的电机，能够提高检测精度。该编码器具有：沿着测量方向(C)的图案(SA1、SA2)；向图案(SA1、SA2)射出光的光源(131)；以及沿着测量方向(C)排列，接收从光源(131)射出并被图案(SA1、SA2)反射的光的受光阵列(PA1、PA2)，受光阵列(PA1、PA2)各自具有的多个受光元件各自的测量方向(C)上的最大外形尺寸(TPA2)以及与测量方向垂直的宽度方向(R)上的最大外形尺寸(WPA2)彼此相等，并且，离光源(131)的距离不同的受光元件彼此具有不同的形状，使得各自的受光光量彼此相等。
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公开(公告)号：CN104613999A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201410636025.0
申请日：2014-11-05
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/34792 , G01D5/3473
Abstract: 本发明涉及编码器、具有编码器的电机、和伺服系统。编码器，包括：具有多个光学效应部的轨道，所述光学效应部设置为具有沿着测量方向的绝对图案；点光源，所述点光源被配置成向所述轨道射出扩散光；和受光阵列，所述受光阵列被配置成具有沿着测量方向设置的受光元件并且接收由所述轨道反射的光或透射的光。所述受光元件位于与所述光学效应部之间的区域相对应的并且由所述轨道反射的光或透射的光不会到达的区域内。
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