公开(公告)号：CN118199357A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410312520.X

申请日：2020-11-11

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 原田正信 ,  赤江裕光 ,  岩﨑则久

IPC: H02K29/08 ,  H02K5/16 ,  H02K11/215

Abstract: 真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器。减少真空马达用编码器中的杂质气体的产生。第一真空用马达(M1)具有：在轴向上延伸设置的第一回转轴部件(73)；将第一回转轴部件(73)支承为能够旋转的轴承(97)；盘(145)，其能够与第一回转轴部件(73)一起旋转，在该盘形成有缝隙；由非磁性材料构成并支承轴承(97)的第一托架(95)；薄壁部(185)形成于第一托架(95)；和传感器单元(147)，其隔着薄壁部(185)而与盘(145)在轴向上对置配置，对缝隙进行检测，配置传感器单元(147)且成为大气压的空间和配置盘(145)且被减压为比大气压低的压力的空间被薄壁部(185)隔绝。

公开(公告)号：CN119275166A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202410885998.1

申请日：2024-07-03

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 岩﨑则久 ,  山口刚 ,  日野一纪 ,  野口忠隆

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/677

Abstract: 本公开涉及机器人以及基板输送装置。机器人(2)具备多关节臂(3)及凸缘(30)，多关节臂具有：手部(20)，其支承基板(W)；基部(10)；臂(4)，其将手部与基部连结；以及多个关节(J10)，它们沿着臂排列，分别绕铅垂的轴线动作来变更手部相对于基部的位置、姿势，凸缘(30)以将基部与臂及手部之间分隔开的方式扩展并封堵收纳多关节臂(3)的至少一部分的腔室(90)的开口(OP1)，凸缘(30)具有长边方向，在凸缘(30)的长边方向上，多个关节(J10)中的距基部(10)最近的关节(J10)的轴线在凸缘(30)的一端(31)与凸缘(30)的中心(32)之间位于靠近一端(31)的位置。

公开(公告)号：CN112803696B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202011252642.2

申请日：2020-11-11

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 原田正信 ,  赤江裕光 ,  岩﨑则久

IPC: H02K29/08 ,  H02K5/16 ,  H02K11/215

Abstract: 真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器。减少真空马达用编码器中的杂质气体的产生。第一真空用马达(M1)具有：在轴向上延伸设置的第一回转轴部件(73)；将第一回转轴部件(73)支承为能够旋转的轴承(97)；盘(145)，其能够与第一回转轴部件(73)一起旋转，在该盘形成有缝隙；由非磁性材料构成并支承轴承(97)的第一托架(95)；凹部(151)，其以在轴向上凹陷的方式形成于第一托架(95)；和传感器单元(147)，其隔着借助凹部(151)形成的薄壁部(185)而与盘(145)在轴向上对置配置，对缝隙进行检测，配置传感器单元(147)且成为大气压的空间和配置盘(145)且被减压为比大气压低的压力的空间被薄壁部(185)隔绝。

公开(公告)号：CN119260786A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202410885995.8

申请日：2024-07-03

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 岩﨑则久 ,  山口刚 ,  日野一纪 ,  原田修 ,  渡边亮介

IPC: B25J17/00 ,  B25J18/00 ,  B25J19/00

Abstract: 机器人(2)具备手部(20)和分别驱动多个关节(J10)的多个致动器(40)，多个致动器(40)分别具有：主体(110、210、340)，其在所要驱动的关节(J10)中固定于多关节臂(3)的一个连杆；以及输出轴(120、220、350)，其沿着轴线从主体(110、210、340)突出并固定于多关节臂(3)的另一个连杆，且绕轴线旋转，多关节臂(3)与多个致动器(40)分别对应地还具有密封构件(140、240、370)，其以能够与主体(110、210、340)分体地拆卸的状态安装于一个连杆，将一个连杆与输出轴(120、220、350)之间密封。

公开(公告)号：CN119260788A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202410886353.X

申请日：2024-07-03

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 岩﨑则久 ,  山口刚 ,  日野一纪 ,  反田雄太

IPC: B25J17/00 ,  B25J18/00 ,  B25J15/00

Abstract: 一种机器人(2)，其具有使第一手部(20)和第二手部(70)相互独立地旋转的手部马达(301)，手部马达具有：第一输出轴(350)，其固定于第一手部(20)；第一定子(342)，其使绕手部轴线(Ax3)的旋转磁场作用于第一输出轴(350)；第二输出轴(320)，其贯通第一输出轴(350)并固定于第二手部(70)；第二定子(315)，其使绕手部轴线(Ax3)的旋转磁场作用于第二输出轴(320)；第一轴承(323、324)，其保持于连杆并保持第一输出轴(350)或第二输出轴(320)；及第二轴承(355、356)，其保持于第二输出轴(320)并将第一输出轴(350)保持为绕手部轴线(Ax3)旋转。

公开(公告)号：CN119260787A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202410886174.6

申请日：2024-07-03

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 实政泰树 ,  渡边亮介 ,  岩﨑则久 ,  山口刚

IPC: B25J17/00 ,  B25J18/00

Abstract: 一种机器人(2)，具备：多关节臂(3)，其具有支承基板(W)的手部(20)、基部(10)、将手部(20)与基部(10)连结的臂(4)、以及沿着臂(4)排列且分别绕铅垂的轴线动作来变更手部(20)相对于基部(10)的位置、姿势的多个关节(J10)；以及多个马达，它们分别驱动多个关节(J10)，多个马达分别是直接驱动式马达，配置于所要驱动的关节(J10)。

公开(公告)号：CN118199358A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410312529.0

申请日：2020-11-11

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 原田正信 ,  赤江裕光 ,  岩﨑则久

IPC: H02K29/08 ,  H02K5/16 ,  H02K11/215

Abstract: 真空用马达。减少真空用马达的杂质气体的产生。第一真空用马达(M1)具有：在轴向上延伸设置的第一回转轴部件(73)；将第一回转轴部件(73)支承为能够旋转的轴承(97)；盘(145)，其能够与第一回转轴部件(73)一起旋转，在该盘形成有缝隙；由非磁性材料构成并支承轴承(97)的第一托架(95)；薄壁部(185)形成于第一托架(95)；和传感器单元(147)，其隔着薄壁部(185)而与盘(145)在轴向上对置配置，对缝隙进行检测，配置传感器单元(147)且成为大气压的空间和配置盘(145)且被减压为比大气压低的压力的空间被薄壁部(185)隔绝。

公开(公告)号：CN112803696A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN202011252642.2

申请日：2020-11-11

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 原田正信 ,  赤江裕光 ,  岩﨑则久

IPC: H02K29/08 ,  H02K5/16 ,  H02K11/215

Abstract: 真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器。减少真空马达用编码器中的杂质气体的产生。第一真空用马达(M1)具有：在轴向上延伸设置的第一回转轴部件(73)；将第一回转轴部件(73)支承为能够旋转的轴承(97)；盘(145)，其能够与第一回转轴部件(73)一起旋转，在该盘形成有缝隙；由非磁性材料构成并支承轴承(97)的第一托架(95)；凹部(151)，其以在轴向上凹陷的方式形成于第一托架(95)；和传感器单元(147)，其隔着借助凹部(151)形成的薄壁部(185)而与盘(145)在轴向上对置配置，对缝隙进行检测，配置传感器单元(147)且成为大气压的空间和配置盘(145)且被减压为比大气压低的压力的空间被薄壁部(185)隔绝。