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公开(公告)号：CN103170986A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210440971.9
申请日：2012-11-07
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: H01L21/67739 , H01L21/67742 , Y10S901/49
Abstract: 本发明提供机器人的臂结构以及机器人。所述机器人安装在保持处于减压状态的真空室中，所述臂结构包括第一臂、第二臂和构造成保持工件的末端执行器。所述第一臂设置有布置在该第一臂的内部中的预定驱动系统，并且所述第一臂的内部保持处于大气压状态。所述第二臂中不具有驱动系统。在所述第一臂和所述第二臂的连接部附近设置间壁，以使该第一臂内所保持的大气压状态与所述减压状态隔离。在所述间壁中设置气密端子，以使大气侧和真空侧在气密状态下相互电连接。
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公开(公告)号：CN103170964A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210432384.5
申请日：2012-11-02
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/00
CPC classification number: B25J18/04 , Y10S901/15
Abstract: 本发明涉及线性运动机构和设置有该线性运动机构的机器人。所述线性运动机构包括：基部；引导构件，该引导构件附装到所述基部；以及滑动件，该滑动件设置成沿着所述引导构件的轴向方向滑动。所述引导构件由引导件紧固构件沿大致正交于所述轴向方向的指定紧固方向紧固到所述基部，并且由引导件按压构件沿大致正交于所述轴向方向和所述紧固方向两者的正交方向按压。
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公开(公告)号：CN102963724B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201210280906.4
申请日：2012-08-08
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供一种机器人的臂结构和机器人，其减小了机器人的最小回转径。实施方式涉及的机器人具备第一臂部、第二臂部、中间连杆部、第一连杆部和第二连杆部。第一连杆部在与第一臂部、中间连杆部和固定底座部之间形成第一平行连杆机构。第二连杆部在与第二臂部、中间连杆部和可动底座部之间形成第二平行连杆机构。并且，从第二连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离，比从第一连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离短。
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公开(公告)号：CN102214593A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201110075819.0
申请日：2011-03-23
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/683 , H01L21/00 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/68742
Abstract: 本发明提供一种被处理体的支撑机构及支撑方法，能够通过使支撑机构的设置空间极小化而有利于处理装置整体的小型化，还能够显著地降低在与搬运手臂之间移放时所发生的被处理体的位置偏移。具体为，一种被处理体的支撑机构，其特征在于，具备N组(N是至少3以上的整数)由与被处理体(W)接触并对其进行支撑的升降销(38)、使升降销(38)升降的马达(100)、驱动马达(100)的驱动控制装置(200)组成的单元，N组单元各自的驱动控制装置(200)与其它单元的驱动控制装置(200)独立，并驱动各自单元的马达(100)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102962849B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210314465.5
申请日：2012-08-30
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供一种能够使机器人小型化的机器人的臂结构和机器人。实施方式的臂单元具备固定基座部、第1臂部、第2臂部、马达、第1传动带、第2传动带以及中继部件。第1臂部经由第1减速器而与固定基座部连结，第2臂部经由第2减速器而与第1臂部连结。并且，第2传动带对中继部件传递马达的驱动力，第1传动带将从第2传动带经由中继部件传递来的马达的驱动力传递至第1减速器。
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公开(公告)号：CN102963724A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210280906.4
申请日：2012-08-08
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供一种机器人的臂结构和机器人，其减小了机器人的最小回转径。实施方式涉及的机器人具备第一臂部、第二臂部、中间连杆部、第一连杆部和第二连杆部。第一连杆部在与第一臂部、中间连杆部和固定底座部之间形成第一平行连杆机构。第二连杆部在与第二臂部、中间连杆部和可动底座部之间形成第二平行连杆机构。并且，从第二连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离，比从第一连杆部与中间连杆部的连接轴到第一臂部与第二臂部的连接轴为止的距离短。
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公开(公告)号：CN102962849A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210314465.5
申请日：2012-08-30
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供一种能够使机器人小型化的机器人的臂结构和机器人。实施方式的臂单元具备固定基座部、第1臂部、第2臂部、马达、第1传动带、第2传动带以及中继部件。第1臂部经由第1减速器而与固定基座部连结，第2臂部经由第2减速器而与第1臂部连结。并且，第2传动带对中继部件传递马达的驱动力，第1传动带将从第2传动带经由中继部件传递来的马达的驱动力传递至第1减速器。
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公开(公告)号：CN113508456A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202080003588.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677
Abstract: 搬运系统具有搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，该搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：固定在搬运室内，搬运基板的多个机器人；和移动式缓冲器。移动式缓冲器保持基板，在侧壁与机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。机器人通过与移动式缓冲器的移动进行协作而在移动式缓冲器与处理室之间进行基板的交接。
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公开(公告)号：CN103170986B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201210440971.9
申请日：2012-11-07
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: H01L21/67739 , H01L21/67742 , Y10S901/49
Abstract: 本发明提供机器人的臂结构以及机器人。所述机器人安装在保持处于减压状态的真空室中，所述臂结构包括第一臂、第二臂和构造成保持工件的末端执行器。所述第一臂设置有布置在该第一臂的内部中的预定驱动系统，并且所述第一臂的内部保持处于大气压状态。所述第二臂中不具有驱动系统。在所述第一臂和所述第二臂的连接部附近设置间壁，以使该第一臂内所保持的大气压状态与所述减压状态隔离。在所述间壁中设置气密端子，以使大气侧和真空侧在气密状态下相互电连接。
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