公开(公告)号：CN111244019B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN201911064736.4

申请日：2019-11-04

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 约瑟夫·张 ,  岛田克彦 ,  古川伸征 ,  姜龙求

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677

Abstract: 提供基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置，防止基板的偏移和落下，并且减少对基板的损伤。基板支承装置具有叶片和固定于叶片并对基板进行支承的衬垫。衬垫具有第1固定部、第2固定部以及桥接部。第1固定部固定在比所支承的基板的外周部靠外侧的位置。第2固定部固定在比外周部靠内侧的位置。桥接部连接第1固定部和第2固定部，对外周部进行支承。桥接部由挠性部件形成，在未对基板进行支承的状态下，桥接部的上表面从第1固定部朝向第2固定部向下倾斜。

公开(公告)号：CN102992033A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201210328799.8

申请日：2012-09-07

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古川伸征 ,  野口忠隆 ,  大仁健辅

IPC: B65G49/06

Abstract: 本发明提供一种机器人、机器人的设置方法和制造装置。所述机器人能够容易地设置到罩内。实施方式的机器人具备机体部和臂单元。机体部从真空罩的上方被搬入真空罩内，并且被固定于真空罩。此外，臂单元从真空罩的上方被搬入罩内，并且与已固定于罩内的机体部连接。

公开(公告)号：CN103171897B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201210377524.3

申请日：2012-10-08

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古川伸征 ,  小原勇树

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明涉及一种搬运机器人，其包括：第一臂，所述第一臂具有以可旋转的方式连接到臂基部的基端部；第二臂，所述第二臂具有以可旋转的方式连接到所述第一臂的末端部上的基端部；手，所述手具有以可旋转的方式连接到所述第二臂的末端部上的手基部，所述手用来保持基板。所述第一臂包括设置在其中的指定驱动系统，并且所述第二臂由所述第一臂驱动。反射板设置在所述第一臂和所述第二臂之间并且构造成向上反射来自被保持在所述手上的所述基板的热量。

公开(公告)号：CN103170970A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201210377031.X

申请日：2012-10-08

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古川伸征 ,  大仁健辅

IPC: B25J9/08 ,  B65G49/06

CPC classification number: B25J9/1065 ,  B25J19/0054

Abstract: 本发明涉及一种搬运机器人，其包括：第一臂，所述第一臂具有以可旋转的方式连接到臂基部的基端部，所述第一臂包括设置在其中的指定驱动系统；第二臂，所述第二臂具有以可旋转的方式连接到所述第一臂的末端部上的基端部；以及手，所述手具有以可旋转的方式连接到所述第二臂的末端部上的手基部，所述手用来保持基板。所述第一臂包括臂壳体，所述臂壳体设置有多个喷气孔以及至少一个排气孔。所述第一臂构造成使得通过所述喷气孔喷射的压缩空气沿着所述臂壳体的内壁表面流动并且通过所述排气孔流出。

公开(公告)号：CN102992033B

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201210328799.8

申请日：2012-09-07

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古川伸征 ,  野口忠隆 ,  大仁健辅

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种机器人、机器人的设置方法和制造装置。所述机器人能够容易地设置到罩内。实施方式的机器人具备机体部和臂单元。机体部从真空罩的上方被搬入真空罩内，并且被固定于真空罩。此外，臂单元从真空罩的上方被搬入罩内，并且与已固定于罩内的机体部连接。

公开(公告)号：CN103707320A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310459346.3

申请日：2013-09-25

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 今井一利 ,  古川伸征 ,  野口忠隆

IPC: B25J18/00

CPC classification number: B25J18/04 ,  B25J9/042 ,  Y10T74/20329

Abstract: 本发明涉及一种机器人臂和机器人。所述机器人臂包括：第一臂，该第一臂的基端部以可旋转的方式连接至臂基部；第二臂，该第二臂的基端部以可旋转的方式连接至所述第一臂的末端部，并且该第二臂的末端部供机器人手以可旋转的方式连接。此外，所述机器人臂包括连杆单元，该连杆单元的基端部相对于所述臂基部以可旋转的方式被支撑，并且该连杆单元的末端部在所述第一臂的中间部处插入所述第一臂中并且被支撑为能相对于所述第一臂进行相对旋转。所述连杆单元通过向所述第二臂的所述基端部传递相对旋转而使所述第二臂相对于所述第一臂旋转。

公开(公告)号：CN102069492B

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201010530275.8

申请日：2010-10-29

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 多良文宏 ,  古川伸征 ,  大仁健辅

IPC: B25J9/06 ,  B25J18/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/042 ,  B25J9/044 ,  B25J9/1065 ,  Y10T74/20305 ,  Y10T74/20311

Abstract: 本发明提供一种高刚性还具有耐热性的适合于真空环境内的真空机器人的手臂结构。具体为，具备：手臂基座，在内部具有气密空间；手臂驱动用马达，设置在手臂基座内；第1减速器，由通过手臂驱动用马达旋转的中空减速器轴、及输入减速器轴的旋转并仅以规定比减速并在减速器轴周围旋转的第1减速器输出轴构成，设置为减速器轴的下端露出在手臂基座内；第1手臂，通过使中空减速器轴的上端进入而具有与手臂基座的气密空间相同压力的气密空间，且固定于第1减速器输出轴；第2减速器，设置在第1手臂的前端，输入轴与减速器轴连接；第2手臂，固定在第2减速器的输出轴上，在内部不具有气密空间；及连杆机构，跟随第1手臂和第2手臂。

公开(公告)号：CN111244019A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201911064736.4

申请日：2019-11-04

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 约瑟夫·张 ,  岛田克彦 ,  古川伸征 ,  姜龙求

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677

Abstract: 提供基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置，防止基板的偏移和落下，并且减少对基板的损伤。基板支承装置具有叶片和固定于叶片并对基板进行支承的衬垫。衬垫具有第1固定部、第2固定部以及桥接部。第1固定部固定在比所支承的基板的外周部靠外侧的位置。第2固定部固定在比外周部靠内侧的位置。桥接部连接第1固定部和第2固定部，对外周部进行支承。桥接部由挠性部件形成，在未对基板进行支承的状态下，桥接部的上表面从第1固定部朝向第2固定部向下倾斜。

公开(公告)号：CN102962849B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210314465.5

申请日：2012-08-30

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古川伸征 ,  野口忠隆

IPC: B25J18/02 ,  B25J9/06 ,  B25J9/10

Abstract: 本发明提供一种能够使机器人小型化的机器人的臂结构和机器人。实施方式的臂单元具备固定基座部、第1臂部、第2臂部、马达、第1传动带、第2传动带以及中继部件。第1臂部经由第1减速器而与固定基座部连结，第2臂部经由第2减速器而与第1臂部连结。并且，第2传动带对中继部件传递马达的驱动力，第1传动带将从第2传动带经由中继部件传递来的马达的驱动力传递至第1减速器。

公开(公告)号：CN102962849A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210314465.5

申请日：2012-08-30

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古川伸征 ,  野口忠隆

IPC: B25J18/02 ,  B25J9/06 ,  B25J9/10

Abstract: 本发明提供一种能够使机器人小型化的机器人的臂结构和机器人。实施方式的臂单元具备固定基座部、第1臂部、第2臂部、马达、第1传动带、第2传动带以及中继部件。第1臂部经由第1减速器而与固定基座部连结，第2臂部经由第2减速器而与第1臂部连结。并且，第2传动带对中继部件传递马达的驱动力，第1传动带将从第2传动带经由中继部件传递来的马达的驱动力传递至第1减速器。