公开(公告)号：CN111244019A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201911064736.4

申请日：2019-11-04

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 约瑟夫·张 ,  岛田克彦 ,  古川伸征 ,  姜龙求

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677

Abstract: 提供基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置，防止基板的偏移和落下，并且减少对基板的损伤。基板支承装置具有叶片和固定于叶片并对基板进行支承的衬垫。衬垫具有第1固定部、第2固定部以及桥接部。第1固定部固定在比所支承的基板的外周部靠外侧的位置。第2固定部固定在比外周部靠内侧的位置。桥接部连接第1固定部和第2固定部，对外周部进行支承。桥接部由挠性部件形成，在未对基板进行支承的状态下，桥接部的上表面从第1固定部朝向第2固定部向下倾斜。

公开(公告)号：CN111244019B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN201911064736.4

申请日：2019-11-04

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 约瑟夫·张 ,  岛田克彦 ,  古川伸征 ,  姜龙求

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677

Abstract: 提供基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置，防止基板的偏移和落下，并且减少对基板的损伤。基板支承装置具有叶片和固定于叶片并对基板进行支承的衬垫。衬垫具有第1固定部、第2固定部以及桥接部。第1固定部固定在比所支承的基板的外周部靠外侧的位置。第2固定部固定在比外周部靠内侧的位置。桥接部连接第1固定部和第2固定部，对外周部进行支承。桥接部由挠性部件形成，在未对基板进行支承的状态下，桥接部的上表面从第1固定部朝向第2固定部向下倾斜。