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公开(公告)号：CN101335188B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN200810127386.7
申请日：2008-06-27
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/00 , H01L21/20 , H01L21/762 , H01L21/84 , H01L21/336 , H01L21/265 , H01L21/268 , H01L21/304
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/76254 , H01L27/1214 , H01L29/78654
Abstract: 本发明的目的在于提供一种SOI基板的制造方法，该SOI基板具备即使在使用玻璃基板等耐热温度低的基板时也可以满足实用的要求的单晶半导体层。另外，本发明的目的还在于提供使用了这种SOI基板的可靠性高的半导体装置。对从半导体基板分离且接合在具有绝缘表面的支撑基板上的半导体层照射电磁波，并且对受到电磁波照射的半导体层表面进行研磨处理。通过电磁波照射，可以使半导体层的至少部分区域熔化，使得半导体层中的结晶缺陷减少。而且，通过研磨处理研磨半导体层表面来实现平坦化。因此，通过电磁波照射和研磨处理，可以制造具有结晶缺陷减少且平坦性高的半导体层的SOI基板。
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公开(公告)号：CN101335188A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200810127386.7
申请日：2008-06-27
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/00 , H01L21/20 , H01L21/762 , H01L21/84 , H01L21/336 , H01L21/265 , H01L21/268 , H01L21/304
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/76254 , H01L27/1214 , H01L29/78654
Abstract: 本发明的目的在于提供一种SOI基板的制造方法，该SOI基板具备即使在使用玻璃基板等耐热温度低的基板时也可以满足实用的要求的单晶半导体层。另外，本发明的目的还在于提供使用了这种SOI基板的可靠性高的半导体装置。对从半导体基板分离且接合在具有绝缘表面的支撑基板上的半导体层照射电磁波，并且对受到电磁波照射的半导体层表面进行研磨处理。通过电磁波照射，可以使半导体层的至少部分区域熔化，使得半导体层中的结晶缺陷减少。而且，通过研磨处理研磨半导体层表面来实现平坦化。因此，通过电磁波照射和研磨处理，可以制造具有结晶缺陷减少且平坦性高的半导体层的SOI基板。
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公开(公告)号：CN116097401A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202180057321.3
申请日：2021-08-06
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/268
Abstract: 提供一种绝缘膜的改性方法。本发明包括如下步骤：准备包含氢的绝缘膜的第一工序；以及通过对绝缘膜进行微波处理，使氢脱离为水分子来降低绝缘膜中的氢含量的第二工序。微波处理在200℃以上且300℃以下的温度范围内使用氧气体及氩气体进行，在氧气流量及氩气流量的总和中氧气流量所占的比率优选大于0％且为50％以下。
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公开(公告)号：CN101796613A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200880106523.7
申请日：2008-09-05
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/02 , H01L21/336 , H01L27/12 , H01L29/786
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/2007 , H01L21/76254 , H01L21/84 , H01L27/1214 , H01L29/4908 , H01L29/66772 , H01L29/78603 , H01L29/78654
Abstract: 本发明名称为半导体装置及电子设备。通过使用以低耐热性衬底为基底衬底的SOI衬底来提供高性能半导体装置。而且，以不进行化学抛光的方式提供高性能半导体装置。再者，提供一种使用该半导体装置的电子设备。包括绝缘衬底上的绝缘层、绝缘层上的接合层、以及接合层上的单晶半导体层，至于单晶半导体层，其上部表面的凹凸形状的算术平均粗糙度为大于或等于1nm且小于或等于7nm。或者，凹凸形状的均方根粗糙度可以为大于或等于1nm且小于或等于10nm。或者，凹凸形状的最大高度差可以为大于或等于5nm且小于或等于250nm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102646698B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201210130042.8
申请日：2008-09-05
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/2007 , H01L21/76254 , H01L21/84 , H01L27/1214 , H01L29/4908 , H01L29/66772 , H01L29/78603 , H01L29/78654
Abstract: 本发明名称为半导体装置及电子设备。通过使用以低耐热性衬底为基底衬底的SOI衬底来提供高性能半导体装置。而且，以不进行化学抛光的方式提供高性能半导体装置。再者，提供一种使用该半导体装置的电子设备。包括绝缘衬底上的绝缘层、绝缘层上的接合层、以及接合层上的单晶半导体层，至于单晶半导体层，其上部表面的凹凸形状的算术平均粗糙度为大于或等于1nm且小于或等于7nm。或者，凹凸形状的均方根粗糙度可以为大于或等于1nm且小于或等于10nm。或者，凹凸形状的最大高度差可以为大于或等于5nm且小于或等于250nm。
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公开(公告)号：CN102306629B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201110254200.6
申请日：2008-06-27
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/336 , H01L21/265 , H01L21/8238 , H01L21/77 , H01L51/40 , H01L51/56
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/76254 , H01L27/1214 , H01L29/78654
Abstract: 本发明提供一种半导体装置的制造方法，包括以下工序：对半导体基板的一个表面照射离子，从而在离所述一个表面有一定深度的区域中形成脆化层；在所述一个表面上或支撑基板上形成绝缘层；将所述一个表面和所述支撑基板与所述绝缘层接合；加热所述半导体基板，以使所述脆化层中产生裂缝；在所述脆化层中分离所述半导体基板，从而在所述支撑基板上形成半导体层；对所述半导体层照射电磁波；在照射所述半导体层之后对所述半导体层表面进行研磨处理；使用所述半导体层形成半导体元件；在所述半导体元件上形成发光元件；以及在所述发光元件上形成彩色滤光片。
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公开(公告)号：CN102306629A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110254200.6
申请日：2008-06-27
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/336 , H01L21/265 , H01L21/8238 , H01L21/77 , H01L51/40 , H01L51/56
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/76254 , H01L27/1214 , H01L29/78654
Abstract: 本发明提供一种半导体装置的制造方法，包括以下工序：对半导体基板的一个表面照射离子，从而在离所述一个表面有一定深度的区域中形成脆化层；在所述一个表面上或支撑基板上形成绝缘层；将所述一个表面和所述支撑基板与所述绝缘层接合；加热所述半导体基板，以使所述脆化层中产生裂缝；在所述脆化层中分离所述半导体基板，从而在所述支撑基板上形成半导体层；对所述半导体层照射电磁波；在照射所述半导体层之后对所述半导体层表面进行研磨处理；使用所述半导体层形成半导体元件；在所述半导体元件上形成发光元件；以及在所述发光元件上形成彩色滤光片。
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公开(公告)号：CN102646698A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210130042.8
申请日：2008-09-05
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/2007 , H01L21/76254 , H01L21/84 , H01L27/1214 , H01L29/4908 , H01L29/66772 , H01L29/78603 , H01L29/78654
Abstract: 本发明名称为半导体装置及电子设备。通过使用以低耐热性衬底为基底衬底的SOI衬底来提供高性能半导体装置。而且，以不进行化学抛光的方式提供高性能半导体装置。再者，提供一种使用该半导体装置的电子设备。包括绝缘衬底上的绝缘层、绝缘层上的接合层、以及接合层上的单晶半导体层，至于单晶半导体层，其上部表面的凹凸形状的算术平均粗糙度为大于或等于1nm且小于或等于7nm。或者，凹凸形状的均方根粗糙度可以为大于或等于1nm且小于或等于10nm。或者，凹凸形状的最大高度差可以为大于或等于5nm且小于或等于250nm。
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公开(公告)号：CN101796613B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200880106523.7
申请日：2008-09-05
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H01L21/02 , H01L21/336 , H01L27/12 , H01L29/786
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/2007 , H01L21/76254 , H01L21/84 , H01L27/1214 , H01L29/4908 , H01L29/66772 , H01L29/78603 , H01L29/78654
Abstract: 本发明名称为半导体装置及电子设备。通过使用以低耐热性衬底为基底衬底的SOI衬底来提供高性能半导体装置。而且，以不进行化学抛光的方式提供高性能半导体装置。再者，提供一种使用该半导体装置的电子设备。包括绝缘衬底上的绝缘层、绝缘层上的接合层、以及接合层上的单晶半导体层，至于单晶半导体层，其上部表面的凹凸形状的算术平均粗糙度为大于或等于1nm且小于或等于7nm。或者，凹凸形状的均方根粗糙度可以为大于或等于1nm且小于或等于10nm。或者，凹凸形状的最大高度差可以为大于或等于5nm且小于或等于250nm。
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