公开(公告)号：CN1009883B

公开(公告)日：1990-10-03

申请号：CN87102347

申请日：1987-03-24

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 山崎舜平 ,  大岛乔 ,  浦田一男 ,  田代卫 ,  店村悠尔 ,  今任慎二 ,  伊藤健二 ,  尾高政一 ,  林茂则 ,  宏濑直树

IPC: H01J61/52 ,  H01J61/24

CPC classification number: H01J61/52

Abstract: 一种汞汽灯设有一个储蓄池，冗余的汞以液态形式贮存于其中，储蓄池中的液态汞被冷却到一定的温度。汞汽的压强自动地降低到被冷却的液态汞的饱和压强。以此配置，调节贮存于储蓄池中的液态汞的温度，就可控制汞汽的压强。

公开(公告)号：CN1017726B

公开(公告)日：1992-08-05

申请号：CN87107779

申请日：1987-11-09

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 犬岛乔 ,  广濑直树 ,  山崎舜平 ,  田代卫

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/22

CPC classification number: C23C16/274 ,  C23C16/26 ,  C23C16/277 ,  C23C16/458 ,  C23C16/481 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32678

Abstract: 本说明书叙述了一种新型的化学汽相淀积法。这里化学汽相反应的主要的激发动力不是电子回旋共振(这时的电子作为独立粒子能够运动而不相互作用)而是混合回旋共振。在这种新提出的共振中，共振空间较大，因而用此新方法可将金刚石之类的高熔点物质淀积成薄膜状。

公开(公告)号：CN87107779A

公开(公告)日：1988-05-25

申请号：CN87107779

申请日：1987-11-09

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 犬岛乔 ,  广濑直树 ,  山崎舜平 ,  田代卫

IPC: C23C16/44

CPC classification number: C23C16/274 ,  C23C16/26 ,  C23C16/277 ,  C23C16/458 ,  C23C16/481 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32678

Abstract: 本说明书叙述了一种新型的化学汽相淀积法。这里化学汽相反应的主要的激发动力不是电子回旋共振(这时的电子作为独立粒子能够运动而不相互作用)而是混合回旋共振。在这种新提出的共振中，共振空间较大，因而用此新方法可将金刚石之类的高熔点物质淀积成薄膜状。

公开(公告)号：CN87102347A

公开(公告)日：1987-09-30

申请号：CN87102347

申请日：1987-03-24

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 山崎舜平 ,  大岛乔 ,  浦田一男 ,  田代卫 ,  店村悠尔 ,  今任慎二 ,  伊藤健二 ,  尾高政一 ,  林茂则 ,  宏濑直树

IPC: H01J61/24 ,  H01J61/52 ,  C23C16/00

CPC classification number: H01J61/52

Abstract: 一种汞汽灯设有一个储蓄池，冗余的汞以液态形式贮存于其中。储蓄池中的液态汞被冷却到一定的温度。汞汽的压强自动地降低到被冷却的液态汞的饱和压强。以此配置，调节贮存于储蓄池中的液态汞的温度，就可控制汞汽的压强。