半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN100521210C

    公开(公告)日:2009-07-29

    申请号:CN200610164166.2

    申请日:2006-12-08

    CPC classification number: H01L21/823842

    Abstract: 一种半导体装置,其特征在于具备:衬底;在上述衬底上形成的p沟道MIS晶体管,上述p沟道MIS晶体管在n阱中形成,具备在上述n阱上形成的第1栅绝缘膜和由在上述第1栅绝缘膜上形成的结晶质Ta-C合金构成的第1栅电极,在上述第1栅电极的膜厚方向上的TaC(111)面的结晶取向比率[TaC(111)面/{TaC(111)面+TaC(200)面}]大于等于80%;在上述衬底上形成的n沟道MIS晶体管,上述n沟道MIS晶体管在p阱中形成,具备在上述p阱上形成的第2栅绝缘膜和由在上述第2栅绝缘膜上形成的结晶质Ta-C合金构成的第2栅电极,在上述第2栅电极的膜厚方向上的TaC(111)面的结晶取向比率[TaC(111)面/{TaC(111)面+TaC(200)面}]小于等于60%。

    电阻变化存储器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103680617B

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201310070528.1

    申请日:2013-03-06

    Abstract: 提供一种电阻变化存储器,能使得在处于低电阻状态的存储单元的可变电阻层形成的细丝的形状一致,能降低处于低电阻状态的存储单元的电阻值的偏差。其包括:存储单元MC,具有:第1电极11及第2电极12、和在第1电极11和第2电极12之间配置且在高电阻状态和低电阻状态之间迁移的可变电阻层13;控制电路21,在第1电极11和第2电极12之间施加电压,将存储单元MC从高电阻状态向低电阻状态迁移。控制电路21将在存储单元流动的电流设定为第1上限值及第2上限值。

    电阻变化存储器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103680617A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310070528.1

    申请日:2013-03-06

    Abstract: 提供一种电阻变化存储器,能使得在处于低电阻状态的存储单元的可变电阻层形成的细丝的形状一致,能降低处于低电阻状态的存储单元的电阻值的偏差。其包括:存储单元MC,具有:第1电极11及第2电极12、和在第1电极11和第2电极12之间配置且在高电阻状态和低电阻状态之间迁移的可变电阻层13;控制电路21,在第1电极11和第2电极12之间施加电压,将存储单元MC从高电阻状态向低电阻状态迁移。控制电路21将在存储单元流动的电流设定为第1上限值及第2上限值。

    非易失性半导体存储器器件

    公开(公告)号:CN103366816A

    公开(公告)日:2013-10-23

    申请号:CN201210332592.8

    申请日:2012-09-10

    Abstract: 本发明涉及非易失性半导体存储器器件。一种非易失性半导体存储器器件包括:基元阵列层,包括第一线、存储器基元和第二线以及控制电路。当执行用于设定所述存储器基元到所述低电阻状态的设定操作时,直到存储器基元的电阻值变为低于预定电阻值为止,所述控制电路重复:向存储器基元施加用于设定的第一电压;以及验证读取以验证存储器基元的电阻值已经变为低于预定电阻值。在验证读取后,在施加随后的第一电压之前,所述控制电路向存储器基元施加具有不同于第一电压的极性的第二电压。

    半导体装置及其制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101009282A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200610164166.2

    申请日:2006-12-08

    CPC classification number: H01L21/823842

    Abstract: 一种半导体装置,其特征在于具备:衬底;在上述衬底上形成的p沟道MIS晶体管,上述p沟道MIS晶体管在n阱中形成,具备在上述n阱上形成的第1栅绝缘膜和由在上述第1栅绝缘膜上形成的结晶质Ta-C合金构成的第1栅电极,在上述第1栅电极的膜厚方向上的TaC(111)面的结晶取向比率[TaC(111)面/{TaC(111)面+TaC(200)面}]大于等于80%;在上述衬底上形成的n沟道MIS晶体管,上述n沟道MIS晶体管在p阱中形成,具备在上述p阱上形成的第2栅绝缘膜和由在上述第2栅绝缘膜上形成的结晶质Ta-C合金构成的第2栅电极,在上述第2栅电极的膜厚方向上的TaC(111)面的结晶取向比率[TaC(111)面/{TaC(111)面+TaC(200)面}]小于等于60%。

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