半导体器件和静电致动器的驱动方法

    公开(公告)号:CN102959850B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201180029396.7

    申请日:2011-08-26

    CPC classification number: H02N1/006

    Abstract: 根据一个实施例,半导体器件包括静电致动器,所述静电致动器包括第一和第二下电极(43,44),所述第一和第二下电极(43,44)上方通过锚状物支撑的且配置为向下移动的上电极(45),以及所述上电极(45)与所述第一和第二下电极(43,44)之间提供的绝缘膜(46),所述第一下电极(43)和上电极(45)构成第一可变电容元件(CEMS1),所述第二下电极(44)和上电极(45)构成第二可变电容元件(CMEMS2);第一固定电容元件(CMIM1),连接到所述第一下电极(43);第二固定电容元件(CMIM2),连接到所述第二下电极(44);以及检测电路(15),连接到所述上电极(45)并且配置为检测存储在所述绝缘膜(46)中的电荷量。

    半导体器件和静电致动器的驱动方法

    公开(公告)号:CN102959850A

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:CN201180029396.7

    申请日:2011-08-26

    CPC classification number: H02N1/006

    Abstract: 根据一个实施例,半导体器件包括静电致动器,所述静电致动器包括第一和第二下电极(43,44),所述第一和第二下电极(43,44)上方通过锚状物支撑的且配置为向下移动的上电极(45),以及所述上电极(45)与所述第一和第二下电极(43,44)之间提供的绝缘膜(46),所述第一下电极(43)和上电极(45)构成第一可变电容元件(CEMS1),所述第二下电极(44)和上电极(45)构成第二可变电容元件(CMEMS2);第一固定电容元件(CMIM1),连接到所述第一下电极(43);第二固定电容元件(CMIM2),连接到所述第二下电极(44);以及检测电路(15),连接到所述上电极(45)并且配置为检测存储在所述绝缘膜(46)中的电荷量。

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