公开(公告)号：CN102959850B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201180029396.7

申请日：2011-08-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 池桥民雄 ,  宫崎隆行 ,  原浩幸

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H02N1/006

Abstract: 根据一个实施例，半导体器件包括静电致动器，所述静电致动器包括第一和第二下电极（43，44），所述第一和第二下电极（43，44）上方通过锚状物支撑的且配置为向下移动的上电极（45），以及所述上电极（45）与所述第一和第二下电极（43，44）之间提供的绝缘膜（46），所述第一下电极（43）和上电极（45）构成第一可变电容元件（CEMS1），所述第二下电极（44）和上电极（45）构成第二可变电容元件（CMEMS2）；第一固定电容元件（CMIM1），连接到所述第一下电极（43）；第二固定电容元件（CMIM2），连接到所述第二下电极（44）；以及检测电路（15），连接到所述上电极（45）并且配置为检测存储在所述绝缘膜（46）中的电荷量。

公开(公告)号：CN102959850A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201180029396.7

申请日：2011-08-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 池桥民雄 ,  宫崎隆行 ,  原浩幸

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H02N1/006

Abstract: 根据一个实施例，半导体器件包括静电致动器，所述静电致动器包括第一和第二下电极（43，44），所述第一和第二下电极（43，44）上方通过锚状物支撑的且配置为向下移动的上电极（45），以及所述上电极（45）与所述第一和第二下电极（43，44）之间提供的绝缘膜（46），所述第一下电极（43）和上电极（45）构成第一可变电容元件（CEMS1），所述第二下电极（44）和上电极（45）构成第二可变电容元件（CMEMS2）；第一固定电容元件（CMIM1），连接到所述第一下电极（43）；第二固定电容元件（CMIM2），连接到所述第二下电极（44）；以及检测电路（15），连接到所述上电极（45）并且配置为检测存储在所述绝缘膜（46）中的电荷量。