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公开(公告)号：CN112514540A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201980047802.9
申请日：2019-07-17
Abstract: 本发明的等离子体处理装置用部件包括：铝基材；以及氧化被膜，其形成在铝基材上，具有多孔质结构，其中，氧化被膜包括：第一氧化被膜，其形成在铝基材的表面上，第二氧化被膜，其形成在第一氧化被膜的与铝基材侧相反的一侧，以及第三氧化被膜，其形成在第二氧化被膜的与第一氧化被膜侧相反的一侧，第一氧化被膜比第二氧化被膜及第三氧化被膜硬，在第一氧化被膜、第二氧化被膜和第三氧化被膜的各被膜中形成的孔被封孔。
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公开(公告)号：CN112514540B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201980047802.9
申请日：2019-07-17
Abstract: 本发明的等离子体处理装置用部件包括：铝基材；以及氧化被膜，其形成在铝基材上，具有多孔质结构，其中，氧化被膜包括：第一氧化被膜，其形成在铝基材的表面上，第二氧化被膜，其形成在第一氧化被膜的与铝基材侧相反的一侧，以及第三氧化被膜，其形成在第二氧化被膜的与第一氧化被膜侧相反的一侧，第一氧化被膜比第二氧化被膜及第三氧化被膜硬，在第一氧化被膜、第二氧化被膜和第三氧化被膜的各被膜中形成的孔被封孔。
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公开(公告)号：CN108291310B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201680067306.6
申请日：2016-11-21
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明提供一种层叠体以及层叠体的制造方法，其是以冷喷涂法将非金属粉末喷射到高硬度的基材表面对基材表面进行喷砂之后，以冷喷涂法形成被膜，从而制造出基材与被膜之间的附着性优越的层叠体。层叠体1的特征在于，具备：基材10，其由维氏硬度120HV以上的金属或合金制成，在表面上具有凹凸；被膜11，其形成在基材10的表面上，由金属或合金制成，被膜11与基材10形成金属键结合。
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公开(公告)号：CN113454761A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202080012364.5
申请日：2020-02-25
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/683 , C23C4/129 , C23C4/134
Abstract: 载物台包括：基材，其具有第一面和与第一面相邻的第二面；以及绝缘膜，其包含具有扁平面的多个粒子，扁平面的一部分沿着第一面和第二面而设置，所述基材包括与第一面180度相反方向的第三面，绝缘膜的扁平面的一部分沿着第三面而设置，延长第一面的面与延长第二面的面设置为以90度相交。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113169112A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980081476.3
申请日：2019-12-03
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的具有流路的板件，其包括：主体部，其形成有使惰性气体流通的流路；以及盖部，其覆盖主体部的流路的形成面，在主体部的流路设置有埋设在该流路的开口的埋设部件，埋设部件包括：埋设部，其固定在流路；以及流通部，其由埋设部保持，使惰性气体从主体部的内部向外部流通，在流通部设置有多个贯通孔，埋设部件与流路通过绝缘性的粘合剂固定，埋设部的外周的直径与包含全部贯通孔的圆中最小的圆的直径的比为1.2以上。
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公开(公告)号：CN110547041A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201880024287.8
申请日：2018-04-03
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 提供一种提高了可靠性的细径护套加热器。本发明的一个实施方式的护套加热器具备金属护套、发热丝、绝缘材料以及连接端子，所述发热丝为带状，以具有间隙的方式配置于所述金属护套内，并相对于所述金属护套的轴向旋转而配置在所述金属护套内，所述绝缘材料配置于所述间隙中，所述连接端子配置于所述金属护套的一端，分别与所述发热丝的两端电连接。
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公开(公告)号：CN119095694A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202380030862.6
申请日：2023-02-28
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一个实施方式所涉及的研磨装置具有支撑研磨工具的支撑部、保持研磨对称物的载物台、使所述支撑部和所述载物台沿研磨面的形状进行相对移动的第一驱动部、以及以使安装于所述研磨工具的研磨部件的一端朝向移动方向的方式与所述第一驱动部同步地使所述支撑部旋转的第二驱动部。
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公开(公告)号：CN113454761B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202080012364.5
申请日：2020-02-25
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/683 , C23C4/129 , C23C4/134
Abstract: 载物台包括：基材，其具有第一面和与第一面相邻的第二面；以及绝缘膜，其包含具有扁平面的多个粒子，扁平面的一部分沿着第一面和第二面而设置，所述基材包括与第一面180度相反方向的第三面，绝缘膜的扁平面的一部分沿着第三面而设置，延长第一面的面与延长第二面的面设置为以90度相交。
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公开(公告)号：CN113169112B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201980081476.3
申请日：2019-12-03
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的具有流路的板件，其包括：主体部，其形成有使惰性气体流通的流路；以及盖部，其覆盖主体部的流路的形成面，在主体部的流路设置有埋设在该流路的开口的埋设部件，埋设部件包括：埋设部，其固定在流路；以及流通部，其由埋设部保持，使惰性气体从主体部的内部向外部流通，在流通部设置有多个贯通孔，埋设部件与流路通过绝缘性的粘合剂固定，埋设部的外周的直径与包含全部贯通孔的圆中最小的圆的直径的比为1.2以上。
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