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公开(公告)号:CN118369457A
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202280077351.5
申请日:2022-11-25
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: C23C4/02 , H01L21/683
Abstract: 金属掩模具有具有与工件的表面接触的第一面、第一面的相反侧的第二面、和第一面与所述第二面之间的第三面的主体部以及从主体部连续并从第一面向外侧突出的檐部,檐部配置为远离工件的表面。金属掩模的主体部的第三面(侧面)也可以具有以形成檐部的方式设置的台阶部。另外,主体部所涉及的第三面(侧面)也可以具有从第一面侧向第二面侧扩展的倾斜面且檐部配置在倾斜面的上方的结构。
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公开(公告)号:CN113454761A
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN202080012364.5
申请日:2020-02-25
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/683 , C23C4/129 , C23C4/134
Abstract: 载物台包括:基材,其具有第一面和与第一面相邻的第二面;以及绝缘膜,其包含具有扁平面的多个粒子,扁平面的一部分沿着第一面和第二面而设置,所述基材包括与第一面180度相反方向的第三面,绝缘膜的扁平面的一部分沿着第三面而设置,延长第一面的面与延长第二面的面设置为以90度相交。
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公开(公告)号:CN119095694A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202380030862.6
申请日:2023-02-28
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一个实施方式所涉及的研磨装置具有支撑研磨工具的支撑部、保持研磨对称物的载物台、使所述支撑部和所述载物台沿研磨面的形状进行相对移动的第一驱动部、以及以使安装于所述研磨工具的研磨部件的一端朝向移动方向的方式与所述第一驱动部同步地使所述支撑部旋转的第二驱动部。
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公开(公告)号:CN113454761B
公开(公告)日:2024-11-08
申请号:CN202080012364.5
申请日:2020-02-25
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/683 , C23C4/129 , C23C4/134
Abstract: 载物台包括:基材,其具有第一面和与第一面相邻的第二面;以及绝缘膜,其包含具有扁平面的多个粒子,扁平面的一部分沿着第一面和第二面而设置,所述基材包括与第一面180度相反方向的第三面,绝缘膜的扁平面的一部分沿着第三面而设置,延长第一面的面与延长第二面的面设置为以90度相交。
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