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发明公开
研磨装置、研磨方法和机械部件审中-实审

公开(公告)号：CN119095694A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202380030862.6

申请日：2023-02-28

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 藤井理启 , 藤野大辅 , 荒木良仁 , 相川尚哉 , 古郡伸行 , 加园智则

IPC: B24B19/02 , B24B29/00 , B24B41/04 , B24B47/12

Abstract: 一个实施方式所涉及的研磨装置具有支撑研磨工具的支撑部、保持研磨对称物的载物台、使所述支撑部和所述载物台沿研磨面的形状进行相对移动的第一驱动部、以及以使安装于所述研磨工具的研磨部件的一端朝向移动方向的方式与所述第一驱动部同步地使所述支撑部旋转的第二驱动部。

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