公开(公告)号：CN113195146A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201980084269.3

申请日：2019-12-13

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 花待年彦 ,  藤野大辅 ,  泷本优 ,  荒木良仁 ,  藤井理启

IPC: B23K20/00

Abstract: 本发明的接合方法，是将由铝或铝合金制成的、形成有使促进热交换的介质流通的流路的主体部及由铝或铝合金制成的、覆盖主体部的流路的盖部进行接合的方法，接合方法包括：覆盖步骤，在主体部上覆盖盖部；扩散接合步骤，通过在接合温度为500℃以上且640℃以下、接合压力为0.7MPa以上的条件下进行扩散接合，来接合主体部与盖部。

公开(公告)号：CN117083704A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202280025105.5

申请日：2022-02-04

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 木田直哉 ,  二口谷淳 ,  藤野大辅 ,  相川尚哉 ,  和田惠子 ,  中岛文

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明的载置板，具备：主体部，其形成有用于使进行热交换的介质流通的流路，并载置工件，主体部使用金属材料来形成，并具有设置于该主体部的外缘侧的加热器，在驱动加热器并使介质流通于流路的状态下，该主体部的工件载置面的外缘侧与内部侧的温差为20℃以上。

公开(公告)号：CN119452728A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202380049871.X

申请日：2023-04-26

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 相川尚哉 ,  木田直哉 ,  二口谷淳 ,  藤野大辅 ,  高梨雅也

IPC: H05B3/48

Abstract: 护套加热器包括：金属护套；加热线，其配置在护套内；绝缘材料，其填充在护套中以使金属护套与加热线分离；引线，其向加热线供电；压接套筒，其用于连接从金属护套的端部延伸出来的加热线和引线；筒状构件，其覆盖金属护套的端部并配置有压接套筒；以及盖状构件与筒状构件嵌合并包括供引线插入的开口，金属护套的端部包括：第一绝缘管，其包括供加热线插入的第一贯通孔；以及密封材料，其用于填充金属护套与第一绝缘管之间的间隙，密封材料包括陶瓷粘合剂。

公开(公告)号：CN117158115A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202280018005.X

申请日：2022-02-09

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 木田直哉 ,  二口谷淳 ,  藤野大辅 ,  谷祐树

IPC: H05B3/48

Abstract: 本发明提供一种提高了可靠性的护套加热器。或者，提供一种具有提高了可靠性的护套加热器的基板支撑装置。本发明的护套加热器具有第一金属线、与第一金属线的第一端部连接的第一端子、与第一端子连接并与第二金属线连接的第一导电柔性部件、与第一金属线的第二端部连接的第二端子、以及与第二端子连接并与第三金属线连接的第二导电柔性部件，第一导电柔性部件与第二导电柔性部件邻接布置。

公开(公告)号：CN119095694A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202380030862.6

申请日：2023-02-28

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 藤井理启 ,  藤野大辅 ,  荒木良仁 ,  相川尚哉 ,  古郡伸行 ,  加园智则

IPC: B24B19/02 ,  B24B29/00 ,  B24B41/04 ,  B24B47/12

Abstract: 一个实施方式所涉及的研磨装置具有支撑研磨工具的支撑部、保持研磨对称物的载物台、使所述支撑部和所述载物台沿研磨面的形状进行相对移动的第一驱动部、以及以使安装于所述研磨工具的研磨部件的一端朝向移动方向的方式与所述第一驱动部同步地使所述支撑部旋转的第二驱动部。