公开(公告)号：CN112840742A

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN201980066496.3

申请日：2019-10-01

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H05B3/48 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05B3/02

摘要： 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第三绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件；以及，圆筒部件，其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。

公开(公告)号：CN112840742B

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN201980066496.3

申请日：2019-10-01

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H05B3/48 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05B3/02

摘要： 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第三绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件；以及，圆筒部件，其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。

公开(公告)号：CN114097068A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202080049779.X

申请日：2020-07-28

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 木田直哉 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50 ,  C23C14/54 ,  C23C16/18 ,  C23C16/20 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/511 ,  C23C16/52

摘要： 载物台包括：轴；轴上的第一支撑板；加热器，其配置于第一支撑板内所形成的槽内；以及气体供应管，其配置在轴内且构成为向第一支撑板吹送气体。第一支撑板可以具有圆盘形状，平行于第一支撑板表面的气体供应管的截面可以与圆盘形状的中心重叠。第一支撑板可以构成为阻挡所述气体并且将所述气体不排放到载物台所配置的腔室内。

公开(公告)号：CN112673709A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN201980058340.0

申请日：2019-10-01

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H05B3/68 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/31 ,  H05B3/48 ,  H01L21/3065

摘要： 载物台包括：第一支撑板、第一支撑板下的第二支撑板、位置在第二支撑板之下，与第一支撑板和第二支撑板重叠的轴、以及贯穿第二支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器被配置为在距第一支撑板的距离不同的第一面上和第二面上延伸，所述第一面和所述第二面平行于第二支撑板的上部面。

公开(公告)号：CN112673709B

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN201980058340.0

申请日：2019-10-01

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H05B3/68 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/31 ,  H05B3/48 ,  H01L21/3065

摘要： 载物台包括：第一支撑板、第一支撑板下的第二支撑板、位置在第二支撑板之下，与第一支撑板和第二支撑板重叠的轴、以及贯穿第二支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器被配置为在距第一支撑板的距离不同的第一面上和第二面上延伸，所述第一面和所述第二面平行于第二支撑板的上部面。

公开(公告)号：CN114207397A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080053712.3

申请日：2020-07-27

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 木田直哉 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： G01K7/02 ,  G01K1/16

摘要： 温度传感器包括：块体；第一热电偶，其包括第一线部件、第二线部件、围绕第一线部件及第二线部件的第一绝缘体以及围绕第一绝缘体的第一金属护套；第二热电偶，其包括第三线部件、第四线部件、围绕第三线部件及第四线部件的第二绝缘体以及围绕第二绝缘体的第二金属护套，第一热电偶和第二热电偶中每一个热电偶的端部埋设在块体中。第一线部件及第二线部件中各自的端部可与第一金属护套相接，第三线部件及第四线部件中各自的端部可与第二金属护套相接。

公开(公告)号：CN114127905A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202080051682.2

申请日：2020-07-06

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 木田直哉 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H01L21/67 ,  H05B3/02 ,  H05B3/06 ,  H05B3/40

摘要： 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置为与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第二绝缘体，其与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触；以及，盖状部件，其覆盖第一绝缘部件的一部分，经由第二绝缘体而与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触，并与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分平行。