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公开(公告)号:CN110547042B
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN201880024404.0
申请日:2018-04-03
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明提供一种可靠性得到提高的、具有细径护套加热器的加热器单元。加热器单元包括:相互接合的第一基材和第二基材;槽,设置于上述第一基材与上述第二基材的接合面的至少一方;以及护套加热器,配置于上述槽的内侧,其中,上述护套加热器包括:金属护套;发热线,以具有间隙的方式配置于上述金属护套内,呈带状,并且相对于上述金属护套的轴方向旋转配置;绝缘材料,配置于上述间隙;以及连接端子,配置于上述金属护套的一端,分别与上述发热线的两端电连接。
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公开(公告)号:CN112673709A
公开(公告)日:2021-04-16
申请号:CN201980058340.0
申请日:2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 载物台包括:第一支撑板、第一支撑板下的第二支撑板、位置在第二支撑板之下,与第一支撑板和第二支撑板重叠的轴、以及贯穿第二支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器被配置为在距第一支撑板的距离不同的第一面上和第二面上延伸,所述第一面和所述第二面平行于第二支撑板的上部面。
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公开(公告)号:CN112840742B
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN201980066496.3
申请日:2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有:折叠的加热器线;第一绝缘体,其设置于加热器线;金属护套,其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触;第一绝缘部件,其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行;第二绝缘部件,其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行,并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行;第三绝缘部件,其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行,且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件;以及,圆筒部件,其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。
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公开(公告)号:CN110547042A
公开(公告)日:2019-12-06
申请号:CN201880024404.0
申请日:2018-04-03
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明提供一种可靠性得到提高的、具有细径护套加热器的加热器单元。加热器单元包括:相互接合的第一基材和第二基材;槽,设置于上述第一基材与上述第二基材的接合面的至少一方;以及护套加热器,配置于上述槽的内侧,其中,上述护套加热器包括:金属护套;发热线,以具有间隙的方式配置于上述金属护套内,呈带状,并且相对于上述金属护套的轴方向旋转配置;绝缘材料,配置于上述间隙;以及连接端子,配置于上述金属护套的一端,分别与上述发热线的两端电连接。
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公开(公告)号:CN108698108B
公开(公告)日:2019-11-29
申请号:CN201780012873.6
申请日:2017-02-14
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: B21D39/00 , B23P19/04 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供这样一种铆接钻模:通过在突出构件缩回的状态下校正刃部的高度来应用NC机床的同时,通过在校正隔离构件的位置的状态下使孔的边缘部塑性变形,从而使隔离构件的上端部的高度均匀统一。铆接钻模(10)配备有本体(11),刃部(12),突出构件(13),推动构件(14),锁定装置(15)。突出构件(13)在未通过锁定装置(15)锁定的状态下,保持在通过推动构件(14)的推动力其顶端部(31)从刀头(12A)开始突出的突出位置(P1)上。在通过锁定装置(15)锁定的状态下,突出构件(13)抵抗推动构件(14)的推动力保持在其顶端部(31)没入比刀头(12A)还要里面的没入位置(P2)上。
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公开(公告)号:CN114127905B
公开(公告)日:2025-01-14
申请号:CN202080051682.2
申请日:2020-07-06
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有:折叠的加热器线;第一绝缘体,其设置于加热器线;金属护套,其被设置为与第一绝缘体的至少一部分接触;第一绝缘部件,其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行;第二绝缘部件,其被配置为与第一绝缘部件的至少一部分平行,并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行;第二绝缘体,其与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触;以及,盖状部件,其覆盖第一绝缘部件的一部分,经由第二绝缘体而与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触,并与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分平行。
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公开(公告)号:CN114097068A
公开(公告)日:2022-02-25
申请号:CN202080049779.X
申请日:2020-07-28
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687 , C23C14/04 , C23C14/24 , C23C14/34 , C23C14/50 , C23C14/54 , C23C16/18 , C23C16/20 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46 , C23C16/511 , C23C16/52
Abstract: 载物台包括:轴;轴上的第一支撑板;加热器,其配置于第一支撑板内所形成的槽内;以及气体供应管,其配置在轴内且构成为向第一支撑板吹送气体。第一支撑板可以具有圆盘形状,平行于第一支撑板表面的气体供应管的截面可以与圆盘形状的中心重叠。第一支撑板可以构成为阻挡所述气体并且将所述气体不排放到载物台所配置的腔室内。
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公开(公告)号:CN110547041A
公开(公告)日:2019-12-06
申请号:CN201880024287.8
申请日:2018-04-03
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 提供一种提高了可靠性的细径护套加热器。本发明的一个实施方式的护套加热器具备金属护套、发热丝、绝缘材料以及连接端子,所述发热丝为带状,以具有间隙的方式配置于所述金属护套内,并相对于所述金属护套的轴向旋转而配置在所述金属护套内,所述绝缘材料配置于所述间隙中,所述连接端子配置于所述金属护套的一端,分别与所述发热丝的两端电连接。
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公开(公告)号:CN110547041B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN201880024287.8
申请日:2018-04-03
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 提供一种提高了可靠性的细径护套加热器。本发明的一个实施方式的护套加热器具备金属护套、发热丝、绝缘材料以及连接端子,所述发热丝为带状,以具有间隙的方式配置于所述金属护套内,并相对于所述金属护套的轴向旋转而配置在所述金属护套内,所述绝缘材料配置于所述间隙中,所述连接端子配置于所述金属护套的一端,分别与所述发热丝的两端电连接。
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公开(公告)号:CN112840742A
公开(公告)日:2021-05-25
申请号:CN201980066496.3
申请日:2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有:折叠的加热器线;第一绝缘体,其设置于加热器线;金属护套,其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触;第一绝缘部件,其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行;第二绝缘部件,其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行,并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行;第三绝缘部件,其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行,且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件;以及,圆筒部件,其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。
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