公开(公告)号：CN110547041B

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN201880024287.8

申请日：2018-04-03

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  关谷健二 ,  桥本大辅 ,  平野智资 ,  泷本优 ,  高原刚 ,  荒木良仁 ,  巽新 ,  川崎孝 ,  外山友纪 ,  安斋谕

IPC分类号： H05B3/48 ,  H05B3/10

摘要： 提供一种提高了可靠性的细径护套加热器。本发明的一个实施方式的护套加热器具备金属护套、发热丝、绝缘材料以及连接端子，所述发热丝为带状，以具有间隙的方式配置于所述金属护套内，并相对于所述金属护套的轴向旋转而配置在所述金属护套内，所述绝缘材料配置于所述间隙中，所述连接端子配置于所述金属护套的一端，分别与所述发热丝的两端电连接。

公开(公告)号：CN112840742A

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN201980066496.3

申请日：2019-10-01

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H05B3/48 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05B3/02

摘要： 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第三绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件；以及，圆筒部件，其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。

公开(公告)号：CN114097068A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202080049779.X

申请日：2020-07-28

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 木田直哉 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50 ,  C23C14/54 ,  C23C16/18 ,  C23C16/20 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/511 ,  C23C16/52

摘要： 载物台包括：轴；轴上的第一支撑板；加热器，其配置于第一支撑板内所形成的槽内；以及气体供应管，其配置在轴内且构成为向第一支撑板吹送气体。第一支撑板可以具有圆盘形状，平行于第一支撑板表面的气体供应管的截面可以与圆盘形状的中心重叠。第一支撑板可以构成为阻挡所述气体并且将所述气体不排放到载物台所配置的腔室内。

公开(公告)号：CN110547041A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201880024287.8

申请日：2018-04-03

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  关谷健二 ,  桥本大辅 ,  平野智资 ,  泷本优 ,  高原刚 ,  荒木良仁 ,  巽新 ,  川崎孝 ,  外山友纪 ,  安斋谕

IPC分类号： H05B3/48 ,  H05B3/10

摘要： 提供一种提高了可靠性的细径护套加热器。本发明的一个实施方式的护套加热器具备金属护套、发热丝、绝缘材料以及连接端子，所述发热丝为带状，以具有间隙的方式配置于所述金属护套内，并相对于所述金属护套的轴向旋转而配置在所述金属护套内，所述绝缘材料配置于所述间隙中，所述连接端子配置于所述金属护套的一端，分别与所述发热丝的两端电连接。

公开(公告)号：CN110547042B

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN201880024404.0

申请日：2018-04-03

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  关谷健二 ,  高原刚 ,  相川尚哉 ,  木皿祐太 ,  巽新

IPC分类号： H05B3/72 ,  H05B3/20 ,  H05B3/30 ,  H05B3/48

摘要： 本发明提供一种可靠性得到提高的、具有细径护套加热器的加热器单元。加热器单元包括：相互接合的第一基材和第二基材；槽，设置于上述第一基材与上述第二基材的接合面的至少一方；以及护套加热器，配置于上述槽的内侧，其中，上述护套加热器包括：金属护套；发热线，以具有间隙的方式配置于上述金属护套内，呈带状，并且相对于上述金属护套的轴方向旋转配置；绝缘材料，配置于上述间隙；以及连接端子，配置于上述金属护套的一端，分别与上述发热线的两端电连接。

公开(公告)号：CN112673709A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN201980058340.0

申请日：2019-10-01

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H05B3/68 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/31 ,  H05B3/48 ,  H01L21/3065

摘要： 载物台包括：第一支撑板、第一支撑板下的第二支撑板、位置在第二支撑板之下，与第一支撑板和第二支撑板重叠的轴、以及贯穿第二支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器被配置为在距第一支撑板的距离不同的第一面上和第二面上延伸，所述第一面和所述第二面平行于第二支撑板的上部面。

公开(公告)号：CN112840742B

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN201980066496.3

申请日：2019-10-01

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H05B3/48 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05B3/02

摘要： 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第三绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件；以及，圆筒部件，其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。

公开(公告)号：CN110547042A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201880024404.0

申请日：2018-04-03

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  关谷健二 ,  高原刚 ,  相川尚哉 ,  木皿祐太 ,  巽新

IPC分类号： H05B3/72 ,  H05B3/20 ,  H05B3/30 ,  H05B3/48

摘要： 本发明提供一种可靠性得到提高的、具有细径护套加热器的加热器单元。加热器单元包括：相互接合的第一基材和第二基材；槽，设置于上述第一基材与上述第二基材的接合面的至少一方；以及护套加热器，配置于上述槽的内侧，其中，上述护套加热器包括：金属护套；发热线，以具有间隙的方式配置于上述金属护套内，呈带状，并且相对于上述金属护套的轴方向旋转配置；绝缘材料，配置于上述间隙；以及连接端子，配置于上述金属护套的一端，分别与上述发热线的两端电连接。

公开(公告)号：CN112673709B

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN201980058340.0

申请日：2019-10-01

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： H05B3/68 ,  C23C14/50 ,  C23C16/46 ,  H01L21/31 ,  H05B3/48 ,  H01L21/3065

摘要： 载物台包括：第一支撑板、第一支撑板下的第二支撑板、位置在第二支撑板之下，与第一支撑板和第二支撑板重叠的轴、以及贯穿第二支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器被配置为在距第一支撑板的距离不同的第一面上和第二面上延伸，所述第一面和所述第二面平行于第二支撑板的上部面。

公开(公告)号：CN114207397A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080053712.3

申请日：2020-07-27

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 木田直哉 ,  巽新 ,  关谷健二 ,  相川尚哉 ,  高梨雅也

IPC分类号： G01K7/02 ,  G01K1/16

摘要： 温度传感器包括：块体；第一热电偶，其包括第一线部件、第二线部件、围绕第一线部件及第二线部件的第一绝缘体以及围绕第一绝缘体的第一金属护套；第二热电偶，其包括第三线部件、第四线部件、围绕第三线部件及第四线部件的第二绝缘体以及围绕第二绝缘体的第二金属护套，第一热电偶和第二热电偶中每一个热电偶的端部埋设在块体中。第一线部件及第二线部件中各自的端部可与第一金属护套相接，第三线部件及第四线部件中各自的端部可与第二金属护套相接。