弹性波装置
    3.
    发明公开
    弹性波装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN116438739A

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202180071572.7

    申请日:2021-10-15

    Abstract: 提供一种弹性波装置,能够抑制在电介质膜产生裂纹及压电体层粘贴于电介质膜。弹性波装置(10)具备支承基板(12)、电介质膜(13)、压电层(14)和IDT电极(15)(激励电极)。压电层(14)具有第1、第2主面(14a、14b)。第2主面(14b)位于电介质膜(13)侧。在电介质膜(13)设置有空洞部(11a)。空洞部(11a)在俯视下与IDT电极(15)的至少一部分重叠。电介质膜(13)具有面向空洞部(11a)的侧壁面(13a)。侧壁面(13a)具有倾斜为越远离压电层(14)则空洞部(11a)的宽度变得越窄的倾斜部(13c)。倾斜部(13c)至少包括侧壁面(13c)中的压电层(14)侧的端部。在将倾斜部(13c)和压电层(14)的第2主面(14b)所成的角度设为倾斜角度α时,倾斜角度α为40°以上且80°以下。

    压电薄膜共振器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101010875A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200580029867.9

    申请日:2005-05-09

    CPC classification number: H03H9/173 H03H9/02133

    Abstract: 一种压电薄膜共振器(10)具备基板(11)、薄膜部和增强膜(19a、19b)。薄膜部具有由基板(11)支撑的至少两处的支撑部分和与基板(11)隔开间隔配置并由支撑部分支撑的浮起部分。浮起部分包括压电薄膜(18)和夹持压电薄膜(18)并对置的一对激振电极(17a、17b)。增强膜(19a、19b)形成在薄膜部的支撑部分和浮起部分之间的边界附近部分。从而能够提供一种不破坏共振特性、确保膜片的强度且使安装时的处理容易的压电薄膜共振器。

    压电滤波器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1977450A

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN200580021979.X

    申请日:2005-07-01

    Abstract: 提供一种具有更小尺寸的压电滤波器。提供压电滤波器(10),其具有:第一基板(22),在第一基板22的主表面上安置有至少一个第一压电谐振器(25);第二基板(12),在第二基板的主表面上安置有至少一个第二压电谐振器(15);连接图案(20),其在第一压电谐振器(25)和第二压电谐振器(15)周围延伸并且安置在第一基板(22)与第二基板(12)之间,第一基板(22)的主表面面对第二基板(12)的主表面,利用连接图案(20)将第一压电谐振器(25)接合到第二压电谐振器(15)上,并且第一压电谐振器(25)远离第二压电谐振器(15);以及连接层(24x),用于将垫片(28x)接合到垫片(18x)上,垫片(28x)被安置在第一基板(22)的主表面上并且电连接第一压电谐振器(25),而垫片18x被安置在第二基板(12)的主表面上并且电连接第二压电谐振器(15)。

    压电元件及其制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114402448A

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202080064776.3

    申请日:2020-07-06

    Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)、第2电极层(130)以及连接电极(140)。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)具有连接面(131)。连接面(131)在第2电极层(130)中的不与第1电极层(120)相对的区域中面向贯通孔(113)。连接电极(140)设于连接面(131)上。连接面(131)与第2电极层(130)的压电体层(110)侧的面中的连接面(131)以外的部分的位置的差为5nm以下。

    压电滤波器
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1977450B

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN200580021979.X

    申请日:2005-07-01

    Abstract: 提供一种具有更小尺寸的压电滤波器。该压电滤波器(10)具有:第一基板(22),在第一基板22的主表面上安置有至少一个第一压电谐振器(25);第二基板(12),在第二基板的主表面上安置有至少一个第二压电谐振器(15);连接图案(20),其在第一压电谐振器(25)和第二压电谐振器(15)周围延伸并且安置在第一基板(22)与第二基板(12)之间,第一基板(22)的主表面面对第二基板(12)的主表面,利用连接图案(20)将第一压电谐振器(25)接合到第二压电谐振器(15)上,并且第一压电谐振器(25)远离第二压电谐振器(15);以及连接层(24x),用于将垫片(28x)接合到垫片(18x)上,垫片(28x)被安置在第一基板(22)的主表面上并且电连接第一压电谐振器(25),而垫片18x被安置在第二基板(12)的主表面上并且电连接第二压电谐振器(15)。

    压电薄膜共振器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100578928C

    公开(公告)日:2010-01-06

    申请号:CN200580029867.9

    申请日:2005-05-09

    CPC classification number: H03H9/173 H03H9/02133

    Abstract: 一种压电薄膜共振器(10)具备基板(11)、薄膜部和增强膜(19a、19b)。薄膜部具有由基板(11)支撑的至少两处的支撑部分和与基板(11)隔开间隔配置并由支撑部分支撑的浮起部分。浮起部分包括压电薄膜(18)和夹持压电薄膜(18)并对置的一对激振电极(17a、17b)。增强膜(19a、19b)形成在薄膜部的支撑部分和浮起部分之间的边界附近部分。从而能够提供一种不破坏共振特性、确保膜片的强度且使安装时的处理容易的压电薄膜共振器。

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