公开(公告)号：CN111463146A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN201911327919.0

申请日：2019-12-20

申请人： 应用材料公司

发明人： V·S·C·帕里米 ,  Z·黄 ,  J·李 ,  S·拉达克里什南 ,  程睿 ,  D·N·凯德拉亚 ,  J·C·罗查 ,  U·M·科尔卡 ,  K·杰纳基拉曼 ,  S·M·博贝克 ,  P·K·库尔施拉希萨 ,  V·K·普拉巴卡尔 ,  B·S·权

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/687

摘要： 本公开内容的实施方式总体上涉及一种基座，所述基座用于增加支撑在其上的基板中的温度均匀性。所述基座包括主体，所述主体中嵌入有加热器。所述主体包括图案化的表面，所述图案化的表面包括第一区域和围绕所述中心区域的第二区域，所述第一区域具有在第一高度从所述主体的基底表面延伸的第一多个柱，所述第二区域具有在大于第一高度的第二高度从基底表面延伸的第二多个柱，其中所述第一多个柱和所述第二多个柱中的每一者的上表面基本上共面并且限定基板接收表面。

公开(公告)号：CN211045385U

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201922311864.6

申请日：2019-12-20

申请人： 应用材料公司

发明人： V·S·C·帕里米 ,  Z·黄 ,  J·李 ,  S·拉达克里什南 ,  程睿 ,  D·N·凯德拉亚 ,  J·C·罗查 ,  U·M·科尔卡 ,  K·杰纳基拉曼 ,  S·M·博贝克 ,  P·K·库尔施拉希萨 ,  V·K·普拉巴卡尔 ,  B·S·权

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/687

摘要： 本公开内容的实施方式总体上涉及一种基座，所述基座用于增加支撑在其上的基板中的温度均匀性。所述基座包括主体，所述主体中嵌入有加热器。所述主体包括图案化的表面，所述图案化的表面包括第一区域和围绕所述中心区域的第二区域，所述第一区域具有在第一高度从所述主体的基底表面延伸的第一多个柱，所述第二区域具有在大于第一高度的第二高度从基底表面延伸的第二多个柱，其中所述第一多个柱和所述第二多个柱中的每一者的上表面基本上共面并且限定基板接收表面。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利