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公开(公告)号：CN111886686B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN201880083574.6
申请日：2018-09-26
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/66 , B24B1/00 , H01L21/30 , H01L21/321
Abstract: 一种通过原位电磁感应监测系统补偿半导体晶片的电导率对测得迹线的贡献的方法包括存储或产生经修改的参考迹线。经修改的参考迹线表示通过神经网络修改的由原位电磁感应监测系统对裸掺杂的参考半导体晶片的测量。通过原位电磁感应监测系统来监测基板，以产生取决于导电层的厚度的测得迹线，且将测得迹线的至少一部分应用于神经网络以产生经修改的测得迹线。产生经调整迹线，包括自经修改的测得迹线减去经修改的参考迹线。
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公开(公告)号：CN115038549B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202180012632.8
申请日：2021-06-10
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种训练神经网络的方法包括获得测试基板的两个地表实况厚度轮廓，当测试基板在不同厚度的研磨垫上时获得通过原位监测系统测量的测试基板的两个厚度轮廓，通过在两个轮廓之间内插来产生针对在两个厚度值之间的另一厚度值的估计的厚度轮廓，以及使用估计的厚度轮廓来训练神经网络。
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公开(公告)号：CN115104001A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202180014115.4
申请日：2021-06-25
Applicant: 应用材料公司
Inventor： S·德汉达帕尼 , A·阿拉赫霍利普罗姆拉尼 , D·J·本韦格努 , 钱隽 , K·L·什里斯塔
Abstract: 通过在多个位置获得校准基板的顶层的地表实况厚度测量结果来训练神经网络以用于基板厚度测量系统，每一位置为在基板上制造的管芯的定义位置。获取校准基板的多个彩色图像，每一彩色图像对应于在基板上制造的管芯的区域。训练神经网络以将来自直列式基板成像器的管芯区域的彩色图像转化为管芯区域中顶层的厚度测量结果。使用训练数据执行训练，训练数据包括多个彩色图像及地表实况厚度测量结果，每一相应的彩色图像与和该相应彩色图像相关联的管芯区域的地表实况厚度测量结果配对。
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公开(公告)号：CN118943037A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410998518.2
申请日：2018-09-26
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/66 , B24B1/00 , H01L21/02 , H01L21/306
Abstract: 一种通过原位电磁感应监测系统补偿半导体晶片的电导率对测得迹线的贡献的方法包括存储或产生经修改的参考迹线。经修改的参考迹线表示通过神经网络修改的由原位电磁感应监测系统对裸掺杂的参考半导体晶片的测量。通过原位电磁感应监测系统来监测基板，以产生取决于导电层的厚度的测得迹线，且将测得迹线的至少一部分应用于神经网络以产生经修改的测得迹线。产生经调整迹线，包括自经修改的测得迹线减去经修改的参考迹线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115135450B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202180014451.9
申请日：2021-05-11
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种抛光基板的方法，包括以下操作：在抛光站处抛光基板上的导电层；用原位涡流监测系统监测所述层，以针对所述层上的多个不同位置产生多个测量的信号值；产生所述位置的厚度测量结果；以及基于厚度测量结果来检测抛光终点或修改抛光参数。导电层由具有第一电导率的第一材料形成。所述产生操作包括以下操作：基于多个测量的信号值来计算初始厚度值，并且通过神经网络处理初始厚度值以产生经调整的厚度值，所述神经网络使用了通过测量校准基板而获得的训练数据进行训练，所述校准基板具有由第二材料形成的导电层，所述第二材料具有小于第一电导率的第二电导率。
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公开(公告)号：CN117900999A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410237424.3
申请日：2021-06-10
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种训练神经网络的方法包括获得测试基板的两个地表实况厚度轮廓，当测试基板在不同厚度的研磨垫上时获得通过原位监测系统测量的测试基板的两个厚度轮廓，通过在两个轮廓之间内插来产生针对在两个厚度值之间的另一厚度值的估计的厚度轮廓，以及使用估计的厚度轮廓来训练神经网络。
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公开(公告)号：CN111886686A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201880083574.6
申请日：2018-09-26
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/66 , B24B1/00 , H01L21/30 , H01L21/321
Abstract: 一种通过原位电磁感应监测系统补偿半导体晶片的电导率对测得迹线的贡献的方法包括存储或产生经修改的参考迹线。经修改的参考迹线表示通过神经网络修改的由原位电磁感应监测系统对裸掺杂的参考半导体晶片的测量。通过原位电磁感应监测系统来监测基板，以产生取决于导电层的厚度的测得迹线，且将测得迹线的至少一部分应用于神经网络以产生经修改的测得迹线。产生经调整迹线，包括自经修改的测得迹线减去经修改的参考迹线。
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公开(公告)号：CN115135450A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202180014451.9
申请日：2021-05-11
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种抛光基板的方法，包括以下操作：在抛光站处抛光基板上的导电层；用原位涡流监测系统监测所述层，以针对所述层上的多个不同位置产生多个测量的信号值；产生所述位置的厚度测量结果；以及基于厚度测量结果来检测抛光终点或修改抛光参数。导电层由具有第一电导率的第一材料形成。所述产生操作包括以下操作：基于多个测量的信号值来计算初始厚度值，并且通过神经网络处理初始厚度值以产生经调整的厚度值，所述神经网络使用了通过测量校准基板而获得的训练数据进行训练，所述校准基板具有由第二材料形成的导电层，所述第二材料具有小于第一电导率的第二电导率。
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公开(公告)号：CN115038549A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202180012632.8
申请日：2021-06-10
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种训练神经网络的方法包括获得测试基板的两个地表实况厚度轮廓，当测试基板在不同厚度的研磨垫上时获得通过原位监测系统测量的测试基板的两个厚度轮廓，通过在两个轮廓之间内插来产生针对在两个厚度值之间的另一厚度值的估计的厚度轮廓，以及使用估计的厚度轮廓来训练神经网络。
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