公开(公告)号：CN115104001A

公开(公告)日：2022-09-23

申请号：CN202180014115.4

申请日：2021-06-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·德汉达帕尼 ,  A·阿拉赫霍利普罗姆拉尼 ,  D·J·本韦格努 ,  钱隽 ,  K·L·什里斯塔

IPC: G01B11/06 ,  H01L21/66 ,  G06T7/00 ,  G06T7/62 ,  G06T7/90 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08

Abstract: 通过在多个位置获得校准基板的顶层的地表实况厚度测量结果来训练神经网络以用于基板厚度测量系统，每一位置为在基板上制造的管芯的定义位置。获取校准基板的多个彩色图像，每一彩色图像对应于在基板上制造的管芯的区域。训练神经网络以将来自直列式基板成像器的管芯区域的彩色图像转化为管芯区域中顶层的厚度测量结果。使用训练数据执行训练，训练数据包括多个彩色图像及地表实况厚度测量结果，每一相应的彩色图像与和该相应彩色图像相关联的管芯区域的地表实况厚度测量结果配对。