公开(公告)号：CN115152009A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202180016910.7

申请日：2021-01-19

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 潘尧令 ,  P·J·唐 ,  L·泰德斯奇 ,  J·孙 ,  P·A·克劳斯 ,  李晓璞 ,  K·贝拉 ,  M·D·威尔沃斯 ,  阿尔伯特三世·B·希克斯 ,  L·J·恩曼 ,  M·J·萨利 ,  D·T·麦克科米克

IPC: H01L21/67 ,  H01J37/32 ,  H05H1/00

Abstract: 本文中公开的实施例包括一种传感器。在一实施例中，传感器包括：基板，所述基板具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面。在一实施例中，传感器进一步包括：第一电极，所述第一电极在所述基板的所述第一表面之上；以及第二电极，所述第二电极在所述基板的所述第一表面之上且相邻于所述第一电极。在一实施例中，传感器进一步包括：阻挡层，所述阻挡层在所述第一电极和所述第二电极之上。

公开(公告)号：CN118974311A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202280094593.5

申请日：2022-12-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： J·F·贝恩克 ,  C·黄 ,  阿尔伯特三世·B·希克斯 ,  S·D·马克斯 ,  J·F·萨默斯 ,  C·L·博德里 ,  T·J·富兰克林

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 一种方法包括将供应装置固定到腔室部件的一个或多个通道的入口。通道在腔室部件的包括入口的第一侧与腔室部件的包括一个或多个通道的出口的第二侧之间提供一个或多个气体流动路径。方法进一步包括将排放装置固定到一个或多个通道的出口。方法进一步包括执行多个原子层沉积循环，以在腔室部件的一个或多个通道的内表面上沉积耐腐蚀涂层。