公开(公告)号：CN118284958A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202280077298.9

申请日：2022-12-08

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 王颖 ,  徐源辉 ,  G·J·威尔森

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 提供了一种用于清洁和干燥带框基板的方法、系统、和装置。在实施例中，一种用于支撑带框基板的装置包括：吸盘，具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，第一侧具有被配置为支撑带框基板的凸表面；和多个通道，延伸穿过吸盘并具有沿第一侧的出口，其中多个通道被配置为沿第一侧的凸表面从出口分配流体。在实施例中，支撑系统包括吸盘和固持器，固持器被配置为将带框基板安装到吸盘。多个通道被配置为当带框基板安装到吸盘时从出口并且在带框基板与吸盘的凸表面之间分配流体。

公开(公告)号：CN118749131A

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202380023511.2

申请日：2023-02-23

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 王瑞萍 ,  王世靖 ,  S·纳哈斯 ,  王颖 ,  徐源辉

IPC: H01L23/00

Abstract: 集成粘合系统中用于优化管芯与基板之间的粘合对准的方法、装置和系统包括：使用集成粘合系统的粘合器，使用预设的对准设置将第一管芯粘合至第一基板；使用集成粘合系统的传输臂/机器人，将经粘合的管芯‑基板组合传输到集成粘合系统的机载检验工具；在机载检验工具处，检验经粘合的管芯‑基板组合中的管芯与基板之间的粘合的对准，以确定错位测量，所述错位测量代表经粘合的管芯‑基板组合中的管芯与基板之间的粘合的错位；使用机器学习过程，根据错位测量确定要传达给粘合器的校正测量；以及在粘合器中，使用经确定的基于机器学习的校正测量将不同的管芯粘合至不同的基板。

公开(公告)号：CN118805246A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202380025270.5

申请日：2023-03-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 王颖 ,  戴寻东 ,  徐源辉 ,  王瑞萍 ,  M·R·赖斯 ,  H·K·博尼坎帝 ,  N·迈蒂

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 用于延长通过保存等离子体活化的混合接合的基板队列时间的装置。在一些实施例中，装置可包括：环境可控空间，具有用于固持管芯或基板的支撑件；使一种或多种气体横跨支撑件再循环的气体速度加速器；过滤器；流体地连接至环境可控空间的加湿器装置，其中加湿器装置实现环境可控空间内的可控湿度水平；在输出上流体地连接至加湿器装置并且在输入上流体地连接至至少一个气体供应器的加压装置；定位在环境可控空间内的相对湿度(RH)传感器；以及至少与加湿器装置和RH传感器通信的环境控制器，其中环境控制器被配置为维持大约80％至大约95％的RH水平。

公开(公告)号：CN119856269A

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202380065007.9

申请日：2023-09-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 王瑞萍 ,  王颖 ,  徐源辉 ,  A·朱普迪 ,  P·K·乔拉古迪

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/18 ,  H01L21/52 ,  H01L21/677

Abstract: 本文提供了用于清洁基板处理工具中的工具零件的方法和装置。在一些实施例中，一种清洁基板处理工具中的工具零件的方法包括：将一个或多个脏工具放置在多腔室处理工具的接合腔室中的保持件上；将保持件从接合腔室转移至多腔室处理工具的清洁腔室；在清洁腔室中清洁一个或多个脏工具以产生一个或多个经清洁工具；在多腔室处理工具的检验腔室中检验一个或多个经清洁工具；以及将一个或多个经清洁工具转移至接合腔室。