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公开(公告)号：CN118805246A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202380025270.5
申请日：2023-03-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 用于延长通过保存等离子体活化的混合接合的基板队列时间的装置。在一些实施例中，装置可包括：环境可控空间，具有用于固持管芯或基板的支撑件；使一种或多种气体横跨支撑件再循环的气体速度加速器；过滤器；流体地连接至环境可控空间的加湿器装置，其中加湿器装置实现环境可控空间内的可控湿度水平；在输出上流体地连接至加湿器装置并且在输入上流体地连接至至少一个气体供应器的加压装置；定位在环境可控空间内的相对湿度(RH)传感器；以及至少与加湿器装置和RH传感器通信的环境控制器，其中环境控制器被配置为维持大约80％至大约95％的RH水平。
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