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公开(公告)号：CN112041976B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN201980028383.4
申请日：2019-05-07
Applicant: 应用材料公司
Inventor： S·V·R·科米塞蒂 , 瑞安·帕茨 , 赛斯恩德拉·甘塔萨拉 , 张立明 , 伊达·滕塞 , 肖恩·史密斯
Abstract: 一种用于在处理腔室中检测陈化处理的终点的方法，该方法包括以下步骤：获得指示第一多个基板中的每一基板的陈化处理的进度的陈化进度数据，以及从设置在处理腔室中的多个传感器收集历史参数值。相对于第一多个基板中的特定基板的多个参数值，归一化第一多个基板中的每一基板的历史参数值。通过将一系数集应用于第一多个基板中的每一基板的归一化参数值来生成MVA模型，及基于陈化进度数据回归该系数集。使用MVA模型决定陈化处理的终点，该MVA模型具有当对第二多个基板中的每个基板执行陈化处理时测量的多个实质实时参数值。
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公开(公告)号：CN104067374B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201280054303.0
申请日：2012-10-12
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/303 , C23C16/4488 , C23C16/45574 , C23C16/4558 , Y10T137/0318 , Y10T137/8593
Abstract: 本文描述根据一个实施例的具有多个气体分配组件的示例性设备。在一个实施例中，该设备包括两个或更多个气体分配组件。每一气体分配组件具有孔，通过所述孔将至少一种工艺气体引入至处理腔室。两个或更多个气体分配组件可被设计为具有互补的特征径向膜生长速率分布。
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公开(公告)号：CN104067374A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201280054303.0
申请日：2012-10-12
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/303 , C23C16/4488 , C23C16/45574 , C23C16/4558 , Y10T137/0318 , Y10T137/8593
Abstract: 本发明描述根据一个实施例的具有多个气体分配组件的示例性设备。在一个实施例中，该设备包括两个或更多个气体分配组件。每一气体分配组件具有孔，通过所述孔将至少一种工艺气体引入至处理腔室。两个或更多个气体分配组件可被设计为具有互补的特征径向膜生长速率分布。
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公开(公告)号：CN112041976A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201980028383.4
申请日：2019-05-07
Applicant: 应用材料公司
Inventor： S·V·R·科米塞蒂 , 瑞安·帕茨 , 赛斯恩德拉·甘塔萨拉 , 张立明 , 伊达·滕塞 , 肖恩·史密斯
Abstract: 一种用于在处理腔室中检测陈化处理的终点的方法，该方法包括以下步骤：获得指示第一多个基板中的每一基板的陈化处理的进度的陈化进度数据，以及从设置在处理腔室中的多个传感器收集历史参数值。相对于第一多个基板中的特定基板的多个参数值，归一化第一多个基板中的每一基板的历史参数值。通过将一系数集应用于第一多个基板中的每一基板的归一化参数值来生成MVA模型，及基于陈化进度数据回归该系数集。使用MVA模型决定陈化处理的终点，该MVA模型具有当对第二多个基板中的每个基板执行陈化处理时测量的多个实质实时参数值。
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