公开(公告)号：CN119156577A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202280095771.6

申请日：2022-05-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 柴青林 ,  马月 ,  张立明 ,  韩新海 ,  汪传颖

IPC: G05B19/418 ,  G06F17/16

Abstract: 一种方法包括：接收与基板处理过程相关联的时间轨迹传感器数据。基板处理过程包括两组或更多组处理条件。至少第一组处理条件和第二组处理条件各自包括重复执行的一个或更多个操作。方法进一步包括：将对应于第一组处理条件和第二组处理条件的时间轨迹传感器数据的第一部分和第二部分分离成第一多个循环数据和第二多个循环数据。方法进一步包括：处理第一多个循环数据和第二多个循环数据以生成汇总数据。方法进一步包括：向用户提供警报。警报是基于汇总数据。

公开(公告)号：CN112041976A

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201980028383.4

申请日：2019-05-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·V·R·科米塞蒂 ,  瑞安·帕茨 ,  赛斯恩德拉·甘塔萨拉 ,  张立明 ,  伊达·滕塞 ,  肖恩·史密斯

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 一种用于在处理腔室中检测陈化处理的终点的方法，该方法包括以下步骤：获得指示第一多个基板中的每一基板的陈化处理的进度的陈化进度数据，以及从设置在处理腔室中的多个传感器收集历史参数值。相对于第一多个基板中的特定基板的多个参数值，归一化第一多个基板中的每一基板的历史参数值。通过将一系数集应用于第一多个基板中的每一基板的归一化参数值来生成MVA模型，及基于陈化进度数据回归该系数集。使用MVA模型决定陈化处理的终点，该MVA模型具有当对第二多个基板中的每个基板执行陈化处理时测量的多个实质实时参数值。

公开(公告)号：CN112041976B

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN201980028383.4

申请日：2019-05-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·V·R·科米塞蒂 ,  瑞安·帕茨 ,  赛斯恩德拉·甘塔萨拉 ,  张立明 ,  伊达·滕塞 ,  肖恩·史密斯

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 一种用于在处理腔室中检测陈化处理的终点的方法，该方法包括以下步骤：获得指示第一多个基板中的每一基板的陈化处理的进度的陈化进度数据，以及从设置在处理腔室中的多个传感器收集历史参数值。相对于第一多个基板中的特定基板的多个参数值，归一化第一多个基板中的每一基板的历史参数值。通过将一系数集应用于第一多个基板中的每一基板的归一化参数值来生成MVA模型，及基于陈化进度数据回归该系数集。使用MVA模型决定陈化处理的终点，该MVA模型具有当对第二多个基板中的每个基板执行陈化处理时测量的多个实质实时参数值。